恭喜杭州廣立微電子股份有限公司郭勝利獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜杭州廣立微電子股份有限公司申請的專利側墻融合距離條件監測的電學測試結構及其位置選放方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114373737B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111664363.1,技術領域涉及:H01L23/544;該發明授權側墻融合距離條件監測的電學測試結構及其位置選放方法是由郭勝利設計研發完成,并于2021-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本側墻融合距離條件監測的電學測試結構及其位置選放方法在說明書摘要公布了:本發明提供側墻融合距離條件監測的電學測試結構,包括若干測試單元;所述測試單元包括至少一個測試組;所述測試組包括相鄰預設間距的第一待測芯軸和第二待測芯軸、若干鰭;所述第一待測芯軸的左端設置有鰭部切斷區,右端設有第一連接結構;所述第二待測芯軸右端設有鰭部切斷區,左端設有第二連接結構。本發明的電學測試結構易于制備,能夠快捷進行電學測試獲取電性參數,高效地確定側墻融合的距離條件;適用于監控Fin制造過程中的SpacerMerge的距離,利于提高工藝監控的效率,為突破側墻融合技術的現有局限提供了解決方案。本發明還提供的位置選放方法能夠高效直觀的選取本發明的電學測試結構放置位置,實現對芯片不同區域的屬性更有效的監控,使測試結果更加精確、全面。
本發明授權側墻融合距離條件監測的電學測試結構及其位置選放方法在權利要求書中公布了:1.側墻融合距離條件監測的電學測試結構,其特征在于:包括若干測試單元;所述測試單元包括至少一個測試組,所述測試組包括相鄰預設間距的第一、第二待測芯軸、以及由所述第一、第二待測芯軸制得的若干鰭;所述第一待測芯軸左端設有鰭部切斷區,右端設有第一連接結構;所述第二待測芯軸右端設有鰭部切斷區,左端設有第二連接結構。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人杭州廣立微電子股份有限公司,其通訊地址為:310012 浙江省杭州市西湖區西斗門路3號天堂軟件園A幢15樓F1座;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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