恭喜株式會社斯庫林集團伊藤明獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜株式會社斯庫林集團申請的專利襯底處理裝置及襯底處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115116886B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210026498.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權襯底處理裝置及襯底處理方法是由伊藤明;山口貴大設計研發完成，并于2022-01-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本襯底處理裝置及襯底處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種襯底處理裝置及襯底處理方法。能通過從配置在繞旋轉軸旋轉的襯底的一個主面的正下方，且從襯底的端面朝旋轉軸側離開的位置的發光元件射出的光，將襯底的周緣部有效加熱，而在短時間內執行處理液的處理。本發明的發光元件以發光面朝向襯底的周緣部的方式，相對于水平面傾斜配置。因此，從發光元件的發光面射出的光照射到襯底的下表面周緣部或其附近區域。
本發明授權襯底處理裝置及襯底處理方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理裝置，特征在于具備：襯底保持部，將襯底大致水平地保持，且設置成能繞特定的旋轉軸旋轉；旋轉機構，使所述襯底保持部繞所述旋轉軸旋轉；加熱機構，具有配置在繞所述旋轉軸旋轉的所述襯底的一個主面的正下方，且從所述襯底的端面朝旋轉軸側離開的位置的發光元件，對所述襯底的一個主面照射所述發光元件的發光面射出的光，將所述襯底加熱；及處理液噴出機構，對由所述加熱機構加熱的所述襯底的另一個主面噴出處理液；且所述發光元件于所述位置以所述發光面朝向所述襯底的周緣部的方式，相對于水平面傾斜配置，所述加熱機構具有調整所述發光面相對于所述水平面的傾斜角度的傾斜角調整部，所述傾斜角調整部在裝置外部與所述襯底保持部之間進行所述襯底的搬入及搬出的期間，以所述發光面成為水平姿勢的方式，調整所述傾斜角度，由此，使鉛直方向上所述加熱機構與所述襯底保持部的間隔大于從所述發光面射出所述光的期間的所述間隔。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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