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龍圖騰網恭喜寧波芯豐精密科技有限公司申請的專利一種搬運轉向裝置、清洗系統和制程設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115101464B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210811788.9，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種搬運轉向裝置、清洗系統和制程設備是由萬先進;邊逸軍;李俊;李文超設計研發完成，并于2022-07-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種搬運轉向裝置、清洗系統和制程設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種搬運轉向裝置、清洗系統和制程設備，屬于半導體設備技術領域。該搬運轉向裝置包括安裝體、驅動機構、從動機構和夾爪，驅動機構包括依次相鉸接的曲柄主動桿、固定桿、第一隨動桿和第二隨動桿，曲柄主動桿、固定桿、第一隨動桿和第二隨動桿的長度各不相同，且固定桿固設于安裝體；從動機構包括導軌、滑設于導軌的滑塊和從動擺動桿，第二隨動桿的延伸部與滑塊鉸接，從動擺動桿的第一端與導軌鉸接，從動擺動桿的第二端轉動設置于安裝體；夾爪一端垂直設置于導軌，另一端用于夾取晶圓，搬運轉向裝置整體無需進行后退動作，減少了常規做法的工序，縮短加工時間，有利于晶圓的批量化生產。

本發明授權一種搬運轉向裝置、清洗系統和制程設備在權利要求書中公布了：1.一種搬運轉向裝置，其特征在于，包括：安裝體；驅動機構9-2，包括依次相鉸接的曲柄主動桿9-2-1、固定桿9-2-2、第一隨動桿9-2-3和第二隨動桿9-2-4，所述曲柄主動桿9-2-1、所述固定桿9-2-2、所述第一隨動桿9-2-3和所述第二隨動桿9-2-4的長度各不相同，且所述固定桿9-2-2固設于所述安裝體；從動機構9-1，包括導軌9-1-1、滑設于所述導軌9-1-1的滑塊9-1-2和從動擺動桿9-1-3，所述第二隨動桿9-2-4的延伸部與所述滑塊9-1-2鉸接，所述從動擺動桿9-1-3的第一端與所述導軌9-1-1鉸接，所述從動擺動桿9-1-3的第二端轉動設置于所述安裝體；夾爪5，一端垂直設置于所述導軌9-1-1，另一端用于夾取晶圓；其中曲柄主動桿繞其與固定桿的鉸接點逆時針轉動，帶動第一隨動桿左右擺動，進而帶動第二隨動桿繞其與第一隨動桿的鉸接點轉過90度，滑塊與導軌滑動連接，由于第二隨動桿的延伸部與滑塊鉸接，使導軌也轉過90度，從動擺動桿在導軌翻轉的過程中，避免滑塊滑出導軌，造成導軌脫落；夾爪的一端與導軌垂直設置，實現曲柄主動桿繞其與固定桿的鉸接點逆時針轉動設定角度后，使第二隨動桿由水平狀態切換為垂直狀態，進而使夾有晶圓的夾爪由垂直狀態切換成水平狀態，完成晶圓翻轉90度。

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