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龍圖騰網恭喜東南大學申請的專利基于多端口環形結的可重構頻率MEMS駐波計及制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115327236B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210985907.2，技術領域涉及：G01R27/06；該發明授權基于多端口環形結的可重構頻率MEMS駐波計及制備方法是由張志強;馮耀剛;李喆然設計研發完成，并于2022-08-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于多端口環形結的可重構頻率MEMS駐波計及制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了基于多端口環形結的可重構頻率MEMS駐波計及制備方法，其主要由環形定向耦合器、MEMS熱電式微波功率傳感器和MEMS可變電容器構成。位于環形定向耦合器的耦合端口和隔離端口的兩個熱電式MEMS微波功率傳感器分別測量出耦合端口和隔離端口處的輸出微波功率大小，進而可得入射微波功率和反射微波功率的大小，從而得到駐波比的大??；六個相同的MEMS可變電容器分別等距放置在環形定向耦合器上，在驅動電極上施加不同的驅動電壓，即可改變MEMS雙端固支梁的高度，從而改變環形定向耦合器各端口之間的電長度，實現該微波駐波計的工作頻率連續調諧。本發明具有微型化和可調諧特點，與硅基CMOS工藝兼容，便于集成。

本發明授權基于多端口環形結的可重構頻率MEMS駐波計及制備方法在權利要求書中公布了：1.一種基于多端口環形結的可重構頻率MEMS駐波計，其特征在于，包括硅襯底13以及設置在硅襯底13上的由環形定向耦合器11及其耦合端口16-1、輸入端口16-2、輸出端口16-3與隔離端口16-4組成的CPW1、MEMS可變電容器2、連接線6、壓焊塊12、空氣橋5和兩個熱電式MEMS微波功率傳感器7；由環形定向耦合器11及其耦合端口16-1、輸入端口16-2、輸出端口16-3與隔離端口16-4組成的CPW1放置在硅襯底13上，組成耦合器的主體結構；其中耦合端口16-1、輸入端口16-2、輸出端口16-3和隔離端口16-4的特征阻抗均為50Ω，環形定向耦合器11的環形結的特征阻抗為70.7Ω；耦合端口16-1、輸入端口16-2、輸出端口16-3及隔離端口16-4的末端均與環形定向耦合器11環形結相連；其中輸出端口16-3和耦合端口16-1位于輸入端口16-2兩側，且輸出端口16-3和耦合端口16-1和環形定向耦合11環形結的交點與輸入端口16-2和環形定向耦合11環形結的交點的距離均為四分之一波長；輸入端口16-2和隔離端口16-4位于輸出端口16-3兩側，且輸入端口16-2和隔離端口16-4和環形定向耦合11環形結的交點與輸出端口16-3和環形定向耦合11環形結的交點的距離均為四分之一波長；通過在耦合端口16-1和隔離端口16-4分別連接一個熱電式MEMS微波功率傳感器7，一起構成了微型熱電式MEMS集成微波駐波計；將六個MEMS可變電容器2等距放置在環形定向耦合11環形結上方，且其中三個MEMS可變電容器2位于輸入端口16-2和耦合端口16-1中間、輸出端口16-3和輸入端口16-2中間以及隔離端口16-4和輸出端口16-3中間，每個所述的MEMS可變電容器2的上極板為MEMS雙端固支梁3，而下極板為驅動電極4，MEMS雙端固支梁3橫跨在CPW1信號線上方且兩端通過錨區分別固定在CPW1信號線兩側的CPW1地線上，在MEMS雙端固支梁3下方CPW1信號線兩側對稱地放置兩個驅動電極4，驅動電極4分別通過連接線6引出并連接壓焊塊12；每個所述空氣橋5橫跨于連接線6上，用于實現CPW1地線間的電互聯，而無需片外鍵合線；每個所述的熱電式MEMS微波功率傳感器7包括耦合端口16-1或隔離端口16-4其中一個端口、兩個負載電阻10、一個熱電堆和一個MEMS襯底膜15結構；其中，耦合端口16-1并聯連接兩個負載電阻10，而隔離端口16-4并聯連接另外兩個負載電阻10；兩個相同的熱電堆分別靠近放置在耦合端口16-1和隔離端口16-4處負載電阻10附近，但不與負載電阻10接觸；通過體刻蝕技術，在負載電阻10和熱電堆的熱端下方刻蝕減薄硅襯底，形成MEMS襯底膜15結構；所述的熱電堆是由N+多晶硅作為熱電堆的半導體臂8和由金屬作為熱電堆的金屬臂9構成。

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