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龍圖騰網(wǎng)恭喜科磊股份有限公司申請(qǐng)的專利成像多電子束的方法及系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118302837B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202380014704.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/04；該發(fā)明授權(quán)成像多電子束的方法及系統(tǒng)是由姜辛容;C·西爾斯;蔣友飛;S·K·史瑞揚(yáng);J·H·李;M·施泰格瓦爾德;R·尼費(fèi)尼格設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-05-17向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本成像多電子束的方法及系統(tǒng)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：形成數(shù)百個(gè)小射束的多電子束系統(tǒng)可聚焦所述小射束，降低庫(kù)侖相互作用效應(yīng)，且改進(jìn)所述小射束的分辨率。具有靜電及磁偏轉(zhuǎn)場(chǎng)的維恩過(guò)濾器可將二次電子束與初級(jí)電子束分離且可同時(shí)校正所有所述小射束的像散及源能量分散模糊。

本發(fā)明授權(quán)成像多電子束的方法及系統(tǒng)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于電子束的系統(tǒng)，其包括：電子束源，其產(chǎn)生電子束，其中所述電子束源包含尖端、抑制電極及提取電極；載物臺(tái)，其經(jīng)配置以將晶片固持在所述電子束的路徑中；物鏡，其在所述電子束的所述路徑中，其中所述物鏡包含：上極片；下極片；物鏡線圈，其安置在所述上極片上；電荷控制板，其安置在所述下極片上；加速電極，其安置在所述上極片與所述下極片之間所述電子束的所述路徑中；及掃描儀，其安置在所述上極片上；維恩過(guò)濾器，其在所述物鏡與所述電子束源之間所述電子束的所述路徑中；轉(zhuǎn)移透鏡，其在所述維恩過(guò)濾器與所述電子束源之間所述電子束的所述路徑中，其中所述轉(zhuǎn)移透鏡包含極片及轉(zhuǎn)移透鏡線圈；及檢測(cè)陣列，其經(jīng)配置以接收來(lái)自所述載物臺(tái)上的所述晶片的至少一個(gè)二次電子束。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人科磊股份有限公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。