株式會社斯庫林集團大宅宗明獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理裝置及基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117393462B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310828384.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板處理裝置及基板處理方法是由大宅宗明;北村翔也設計研發完成，并于2023-07-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及基板處理裝置及基板處理方法。本發明提供一種在使噴嘴與噴嘴擋板一體地下降到接觸位置時，能夠防止噴嘴擋板壓碎存在于基板的上表面的異物的基板處理裝置及基板處理方法。本發明的基板處理裝置，一邊以所謂的浮起方式相對于噴嘴相對地搬運基板，一邊向基板的上表面涂敷處理液，所述基板處理裝置具有：噴嘴擋板，在噴嘴相對于基板相對地行進的噴嘴行進方向上配置于噴嘴的前方側并與噴嘴一體地移動；升降部，使噴嘴和噴嘴擋板一體地升降；以及控制部，控制升降部，以執行升降部使噴嘴和噴嘴擋板一體地下降并使噴嘴定位于接觸位置的接觸動作。并且，在接觸動作時，從上方觀察，保持面和噴嘴擋板彼此分離。
本發明授權基板處理裝置及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，向基板的上表面涂敷處理液，其特征在于，具有：噴嘴，具有噴出口；浮起部，向所述基板的下表面噴射氣體以使所述基板浮起；移動部，一邊利用基板保持部的保持面保持通過所述浮起部浮起的所述基板的下表面的一部分，一邊使所述基板相對于所述噴嘴相對移動；噴嘴擋板，在通過所述移動部使所述噴嘴相對于所述基板相對地行進的噴嘴行進方向上配置于所述噴嘴的前方側，并且與所述噴嘴一體地移動；升降部，使所述噴嘴和所述噴嘴擋板一體地升降；以及控制部，控制所述升降部，以執行所述升降部使所述噴嘴和所述噴嘴擋板一體地下降并使所述噴嘴定位于接觸位置的接觸動作，在所述接觸動作時，從上方觀察，所述保持面和所述噴嘴擋板彼此分離。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號