買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社斯庫林集團(tuán)申請的專利基板處理裝置及基板處理方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117393462B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202310828384.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法是由大宅宗明;北村翔也設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-07-06向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及基板處理裝置及基板處理方法。本發(fā)明提供一種在使噴嘴與噴嘴擋板一體地下降到接觸位置時(shí)，能夠防止噴嘴擋板壓碎存在于基板的上表面的異物的基板處理裝置及基板處理方法。本發(fā)明的基板處理裝置，一邊以所謂的浮起方式相對于噴嘴相對地搬運(yùn)基板，一邊向基板的上表面涂敷處理液，所述基板處理裝置具有：噴嘴擋板，在噴嘴相對于基板相對地行進(jìn)的噴嘴行進(jìn)方向上配置于噴嘴的前方側(cè)并與噴嘴一體地移動(dòng)；升降部，使噴嘴和噴嘴擋板一體地升降；以及控制部，控制升降部，以執(zhí)行升降部使噴嘴和噴嘴擋板一體地下降并使噴嘴定位于接觸位置的接觸動(dòng)作。并且，在接觸動(dòng)作時(shí)，從上方觀察，保持面和噴嘴擋板彼此分離。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，向基板的上表面涂敷處理液，其特征在于，具有：噴嘴，具有噴出口；浮起部，向所述基板的下表面噴射氣體以使所述基板浮起；移動(dòng)部，一邊利用基板保持部的保持面保持通過所述浮起部浮起的所述基板的下表面的一部分，一邊使所述基板相對于所述噴嘴相對移動(dòng)；噴嘴擋板，在通過所述移動(dòng)部使所述噴嘴相對于所述基板相對地行進(jìn)的噴嘴行進(jìn)方向上配置于所述噴嘴的前方側(cè)，并且與所述噴嘴一體地移動(dòng)；升降部，使所述噴嘴和所述噴嘴擋板一體地升降；以及控制部，控制所述升降部，以執(zhí)行所述升降部使所述噴嘴和所述噴嘴擋板一體地下降并使所述噴嘴定位于接觸位置的接觸動(dòng)作，在所述接觸動(dòng)作時(shí)，從上方觀察，所述保持面和所述噴嘴擋板彼此分離。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社斯庫林集團(tuán)，其通訊地址為：日本京都府；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。