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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)申請(qǐng)的專(zhuān)利基板處理裝置及基板處理方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117393462B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202310828384.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法是由大宅宗明;北村翔也設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-07-06向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本基板處理裝置及基板處理方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及基板處理裝置及基板處理方法。本發(fā)明提供一種在使噴嘴與噴嘴擋板一體地下降到接觸位置時(shí)，能夠防止噴嘴擋板壓碎存在于基板的上表面的異物的基板處理裝置及基板處理方法。本發(fā)明的基板處理裝置，一邊以所謂的浮起方式相對(duì)于噴嘴相對(duì)地搬運(yùn)基板，一邊向基板的上表面涂敷處理液，所述基板處理裝置具有：噴嘴擋板，在噴嘴相對(duì)于基板相對(duì)地行進(jìn)的噴嘴行進(jìn)方向上配置于噴嘴的前方側(cè)并與噴嘴一體地移動(dòng)；升降部，使噴嘴和噴嘴擋板一體地升降；以及控制部，控制升降部，以執(zhí)行升降部使噴嘴和噴嘴擋板一體地下降并使噴嘴定位于接觸位置的接觸動(dòng)作。并且，在接觸動(dòng)作時(shí)，從上方觀(guān)察，保持面和噴嘴擋板彼此分離。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基板處理裝置，向基板的上表面涂敷處理液，其特征在于，具有：噴嘴，具有噴出口；浮起部，向所述基板的下表面噴射氣體以使所述基板浮起；移動(dòng)部，一邊利用基板保持部的保持面保持通過(guò)所述浮起部浮起的所述基板的下表面的一部分，一邊使所述基板相對(duì)于所述噴嘴相對(duì)移動(dòng)；噴嘴擋板，在通過(guò)所述移動(dòng)部使所述噴嘴相對(duì)于所述基板相對(duì)地行進(jìn)的噴嘴行進(jìn)方向上配置于所述噴嘴的前方側(cè)，并且與所述噴嘴一體地移動(dòng)；升降部，使所述噴嘴和所述噴嘴擋板一體地升降；以及控制部，控制所述升降部，以執(zhí)行所述升降部使所述噴嘴和所述噴嘴擋板一體地下降并使所述噴嘴定位于接觸位置的接觸動(dòng)作，在所述接觸動(dòng)作時(shí)，從上方觀(guān)察，所述保持面和所述噴嘴擋板彼此分離。

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