恭喜上海鑒影光學科技有限公司吳子若獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜上海鑒影光學科技有限公司申請的專利一種晶圓外觀缺陷檢測裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222762125U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202421099544.3,技術領域涉及:G01N29/04;該實用新型一種晶圓外觀缺陷檢測裝置是由吳子若設計研發完成,并于2024-05-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓外觀缺陷檢測裝置在說明書摘要公布了:本實用新型涉及晶圓外觀檢測技術領域,具體為一種晶圓外觀缺陷檢測裝置,包括底座,所述底座的左側安裝有超聲波檢測裝置,所述超聲波檢測裝置的右端設置有檢測區,所述底座的上方設有與檢測區相接觸的輪盤;所述檢測區的頂部設置有超聲波探頭,所述檢測區的上方設有驅動超聲波探頭移動的驅動機構,所述輪盤的右側設置有拾取晶圓的拾取機構,所述拾取機構包括活動柱、升降柱和真空吸盤。本實用新型采用超聲波進行無接觸的檢測,可在保證檢測效果的同時,有效避免晶圓的表面出現損傷,在檢測晶圓的表面是否存在劃痕的同時,并檢測晶圓內部是否有孔隙、分層或雜質等缺陷,提高對晶圓的檢測效果,從而晶圓的質量和可靠性。
本實用新型一種晶圓外觀缺陷檢測裝置在權利要求書中公布了:1.一種晶圓外觀缺陷檢測裝置,包括底座1,其特征在于:所述底座1的左側安裝有超聲波檢測裝置2,所述超聲波檢測裝置2的右端設置有檢測區21,所述底座1的上方設有與檢測區21相接觸的輪盤3;所述檢測區21的頂部設置有超聲波探頭22,所述檢測區21的上方設有驅動超聲波探頭22移動的驅動機構,所述輪盤3的右側設置有拾取晶圓的拾取機構,所述拾取機構包括活動柱4、升降柱5和真空吸盤6。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人上海鑒影光學科技有限公司,其通訊地址為:201108 上海市閔行區華寧路3333號18幢2樓北A區B1室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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