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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所;中科鎵(深圳)半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利氮化鎵單晶片制備過程應(yīng)力調(diào)控結(jié)構(gòu)、制備方法和應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118792738B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411114493.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C30B29/38；該發(fā)明授權(quán)氮化鎵單晶片制備過程應(yīng)力調(diào)控結(jié)構(gòu)、制備方法和應(yīng)用是由楊少延;李成明;陳慶慶;劉祥林;楊瑞;王奕程;張文冠;胡阿龍設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-08-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本氮化鎵單晶片制備過程應(yīng)力調(diào)控結(jié)構(gòu)、制備方法和應(yīng)用在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了氮化鎵單晶片制備過程應(yīng)力調(diào)控結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。包括：藍(lán)寶石單晶襯底；第一目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層，位于襯底上；多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變區(qū)，位于第一目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)；第二目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層，位于多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變區(qū)遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)；以及氮化鎵單晶薄膜模板層，位于第二目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)，其中，多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變區(qū)包括第一多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層、第二多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層、第三多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層、第四多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層和第五多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層且各協(xié)變層的鈉米孔隙度不完全相同。本發(fā)明的實施例還提供了一種氮化鎵單晶片的制備方法及其應(yīng)用。

本發(fā)明授權(quán)氮化鎵單晶片制備過程應(yīng)力調(diào)控結(jié)構(gòu)、制備方法和應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氮化鎵單晶片制備過程應(yīng)力調(diào)控結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：藍(lán)寶石單晶襯底；第一目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層，位于所述藍(lán)寶石單晶襯底上；多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變區(qū)，位于所述第一目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層遠(yuǎn)離所述藍(lán)寶石單晶襯底的一側(cè)；第二目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層，位于所述多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變區(qū)遠(yuǎn)離所述藍(lán)寶石單晶襯底的一側(cè)；以及氮化鎵單晶薄膜模板層，位于所述第二目標(biāo)氮化鋁單晶薄膜模板層遠(yuǎn)離所述藍(lán)寶石單晶襯底的一側(cè)，其中，所述多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變區(qū)包括依次設(shè)置的第一多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層、第二多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層、第三多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層、第四多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層和第五多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層且各多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層的納米孔隙度不完全相同,所述第一多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層的納米孔隙度為10%-30%；所述第二多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層的納米孔隙度為30%-50%；所述第三多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層的納米孔隙度為50%-70%；所述第四多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層的納米孔隙度為30%-50%；以及所述第五多孔氮化鋁應(yīng)力協(xié)變層的納米孔隙度為10%-30%。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所;中科鎵(深圳)半導(dǎo)體科技有限公司，其通訊地址為：100083 北京市海淀區(qū)清華東路甲35號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。