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龍圖騰網恭喜江蘇容方半導體科技有限公司;中南大學申請的專利一種晶圓襯底敲擊測試方法和裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119197965B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411346834.8，技術領域涉及：G01M7/08；該發明授權一種晶圓襯底敲擊測試方法和裝置是由方彥斌;鄭煜設計研發完成，并于2024-09-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓襯底敲擊測試方法和裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓襯底敲擊測試方法和裝置，涉及晶圓襯底測試技術領域；用于解決現有晶圓襯底測試僅敲擊測試一個點或沿晶圓襯底固定圓周上的多點，容易造成其他區域的缺陷漏檢的問題，包括敲擊底座、晶圓襯底承載臺、多點力可控敲擊單元和傳感監測單元；本發明由敲擊底座、晶圓襯底承載臺、多點力可控敲擊單元和傳感監測單元構成，敲擊頭可獨立控制且帶有力傳感器，敲擊力度可控，同時配有破碎監測傳感器和過程圖像監控，檢測精度高、準確，兼容多尺寸晶圓襯底。再者，該結構簡單，可與半導體設備前端模塊集成，無縫融入全自動晶圓襯底生產的產線中。

本發明授權一種晶圓襯底敲擊測試方法和裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓襯底敲擊測試裝置，包括敲擊底座（1）、晶圓襯底承載臺（2）、多點力可控敲擊單元（3）和傳感監測單元（4）；晶圓襯底（5）水平放置在晶圓襯底承載臺（2）上；其特征在于，所述敲擊底座（1）由基座（11）、四個支撐桿件（12）和上座（13）構成；上座（13）與基座（11）由四個支撐桿件（12）通過螺栓緊固連接，基座（11）與上座（13）之間安裝有晶圓襯底承載臺（2）；上座（13）上安裝有一個或若干個多點力可控敲擊單元（3），多點力可控敲擊單元（3）由驅動單元（31）、力傳感器（32）和敲擊頭（33）構成，敲擊頭（33）通過螺栓與力傳感器（32）緊固，力傳感器（32）通過螺栓與驅動單元（31）緊固；傳感監測單元（4）由破碎監測傳感器（41）和過程圖像監控組件（42）構成，破碎監測傳感器（41）安裝在上座（13）上，且位于晶圓襯底（5）的上方；過程圖像監控組件（42）通過螺栓緊固在上座（13）上；所述多點力可控敲擊單元（3）和傳感監測單元（4）均與控制器通信連接；控制器內設置有圖像分析單元和材質輸入單元；材質輸入單元用于使用者輸入待敲擊測試晶圓襯底的材質以及材質對應的額定力度；圖像分析單元用于對晶圓襯底承載臺（2）上晶圓襯底（5）的圖像進行分析得到執行力度，并控制敲擊點位對應的多點力可控敲擊單元（3）以該執行力度敲擊晶圓襯底（5）；所述圖像分析單元對晶圓襯底承載臺（2）上晶圓襯底（5）的圖像進行分析的具體過程為：將圖像按照晶圓襯底（5）的敲擊點位均勻分割為若干個子圖，將子圖進行放大若干倍形成像素圖得到子像素圖；識別子像素圖中每個像素的灰度值，將每個像素的灰度值均與設定的灰度閾值進行比對，若像素的灰度值與灰度閾值兩者不一致，則將該像素標記為異常像素，統計異常像素的數量得到子像素圖的異常像素數值；對每個異常像素進行相鄰的四個像素進行判定，若異常像素相鄰的四個像素存在零個異常像素，則將該異常像素標記為異零像素，若異常像素相鄰的四個像素存在一個異常像素，則將該異常像素標記為異一像素，若異常像素相鄰的四個像素存在二個異常像素，則將該異常像素標記為異二像素，若異常像素相鄰的四個像素存在三個異常像素，則將該異常像素標記為異三像素，若異常像素相鄰的四個像素存在四個異常像素，則將該異常像素標記為異四像素，分別統計異零像素、異一像素、異二像素、異三像素和異四像素的數量得到異零值、異二值、異三值和異四值，代入異分模型得到子圖的異分值，將所有子圖的異分值進行求和得到異分總值，將異分總值按照預設力度換算系數得到力度值一；獲取晶圓襯底的材質，每個材質均對應一個額定力度，將額定力度減去力度值一得到執行力度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇容方半導體科技有限公司;中南大學，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市梁溪區山北街道會北路29號3棟1層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。