買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州華博電子科技有限公司申請(qǐng)的專利一種磁控濺射設(shè)備及磁控濺射方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119144931B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411648819.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/35；該發(fā)明授權(quán)一種磁控濺射設(shè)備及磁控濺射方法是由陳洋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種磁控濺射設(shè)備及磁控濺射方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種磁控濺射設(shè)備及磁控濺射方法，屬于材料制備加工技術(shù)領(lǐng)域，該磁控濺射設(shè)備包括基座、位于基座上的基材加熱裝置以及位于基材加熱裝置上的磁控濺射裝置，磁控濺射裝置包括從下往上依次設(shè)置的鍍膜室、真空室、磁場(chǎng)發(fā)生裝置和濺射陰極冷卻裝置，濺射陰極冷卻裝置包括冷卻室、位于冷卻室左端的進(jìn)水管、位于冷卻室右端的出水管、用于對(duì)出水管內(nèi)冷卻水溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度傳感器以及用于調(diào)節(jié)冷卻室內(nèi)水流量的調(diào)節(jié)組件，出水管的一端與冷卻室內(nèi)連通，用于將冷卻室內(nèi)的水導(dǎo)入鍍膜室對(duì)其進(jìn)行降溫，能夠?qū)ρh(huán)冷卻水流量進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得水與濺射陰極具有較合適的接觸時(shí)間，使得裝置既能起到較好的降溫效果，也能夠避免造成資源的浪費(fèi)。

本發(fā)明授權(quán)一種磁控濺射設(shè)備及磁控濺射方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種磁控濺射設(shè)備，包括基座、位于基座上的基材加熱裝置（1）以及位于基材加熱裝置（1）上的磁控濺射裝置（2），磁控濺射裝置（2）包括從下往上依次設(shè)置的鍍膜室（21）、真空室（22）、磁場(chǎng)發(fā)生裝置（23）和濺射陰極冷卻裝置（24），其特征在于，濺射陰極冷卻裝置（24）包括冷卻室（241）、位于冷卻室（241）左端的進(jìn)水管（242）、位于冷卻室（241）右端的出水管（243）、用于對(duì)出水管（243）內(nèi)冷卻水溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度傳感器以及用于調(diào)節(jié)冷卻室（241）內(nèi)水流量的調(diào)節(jié)組件（244），出水管（243）的一端與冷卻室（241）內(nèi)連通，另一端與鍍膜室（21）連通，用于將冷卻室（241）內(nèi)的水導(dǎo)入鍍膜室（21）對(duì)其進(jìn)行降溫；鍍膜室（21）包括固定安裝在基材加熱裝置（1）頂部的殼體（211）、位于殼體（211）內(nèi)部的換熱管（213）以及用于磁控濺射鍍膜時(shí)對(duì)基材進(jìn)行支撐的基材支撐組件（215），殼體（211）的前側(cè)設(shè)有通道孔（212），基材支撐組件（215）穿過(guò)通道孔（212）進(jìn)入到殼體（211）內(nèi)，換熱管（213）為U型管且U型管的兩側(cè)壁分別位于通道孔（212）的頂部和底部，換熱管（213）用于對(duì)濺射鍍膜后的基材進(jìn)行冷卻降溫；通道孔（212）和基材支撐組件（215）均有兩個(gè)，兩個(gè)通道孔（212）左右對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)基材支撐組件（215）分別滑動(dòng)安裝在兩個(gè)通道孔（212）內(nèi)，基材支撐組件（215）包括承載板（2151）、位于承載板（2151）上并用于支撐基材的支架（2152）、位于支架（2152）上并用于夾緊基材的兩個(gè)夾緊板（2154）以及安裝在承載板（2151）一側(cè)的連接桿（2157），支架（2152）的左右兩端均設(shè)有向上延長(zhǎng)的延伸部，兩個(gè)延伸部上均安裝有分別帶動(dòng)兩個(gè)夾緊板（2154）沿左右方向運(yùn)動(dòng)的伸縮件，承載板（2151）頂部靠近連接桿（2157）的一端安裝有沿左右方向延伸的密封板（2156），支架（2152）遠(yuǎn)離連接桿（2157）的一側(cè)設(shè)有沿左右方向延伸的擋板（2153）；調(diào)節(jié)組件（244）包括位于冷卻室（241）右端并與冷卻室（241）相連通的控制箱（2441）以及位于冷卻室（241）并沿上下方向滑動(dòng)的調(diào)節(jié)板（2442），調(diào)節(jié)板（2442）的右側(cè)為自上往下向右逐漸傾斜的傾斜面，控制箱（2441）沿左右方向滑動(dòng)套接有調(diào)節(jié)塊（2443），調(diào)節(jié)塊（2443）的左側(cè)為自下往上向左傾斜的傾斜面，調(diào)節(jié)塊（2443）的傾斜面與調(diào)節(jié)板（2442）的傾斜面相互抵觸，調(diào)節(jié)塊（2443）的右側(cè)與控制箱（2441）內(nèi)壁之間設(shè)有伸縮桿（2444）。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人蘇州華博電子科技有限公司，其通訊地址為：215600 江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)福新路1201號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。