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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市金鼎勝光電股份有限公司申請的專利半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119445046B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510047708.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06V10/14；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設(shè)備是由王潔;陳新民;唐建明;張桂英;周正恩設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-01-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及光源配置技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設(shè)備，該方法包括：獲取半導(dǎo)體晶圓圖像并進行動態(tài)圖卷積處理和缺陷特征增強，得到增強缺陷特征圖；將增強缺陷特征圖輸入雙路深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進行反射光強計算和圖像質(zhì)量評分，得到缺陷區(qū)域的反射光強數(shù)據(jù)以及圖像質(zhì)量評分?jǐn)?shù)據(jù)；獲取多個光源的光源輸入電流和光強傳感器數(shù)據(jù)，并結(jié)合圖像質(zhì)量評分?jǐn)?shù)據(jù)對光源角度參數(shù)進行識別計算，得到光源初始參數(shù)；基于反射光強數(shù)據(jù)和光源初始參數(shù)進行非線性控制，得到光源控制參數(shù)；計算多個光源的通道權(quán)重并進行差異化處理，得到協(xié)同光源配置參數(shù)，本發(fā)明提升了缺陷檢測的準(zhǔn)確性和可靠性，降低了光源參數(shù)配置的人工調(diào)試成本。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測光源配置方法，其特征在于，所述方法包括：獲取半導(dǎo)體晶圓圖像并進行動態(tài)圖卷積處理和缺陷特征增強，得到增強缺陷特征圖；將所述增強缺陷特征圖輸入雙路深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進行反射光強計算和圖像質(zhì)量評分，得到缺陷區(qū)域的反射光強數(shù)據(jù)以及圖像質(zhì)量評分?jǐn)?shù)據(jù)；獲取多個光源的光源輸入電流數(shù)據(jù)和光強傳感器數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述圖像質(zhì)量評分?jǐn)?shù)據(jù)對光源角度參數(shù)進行識別計算，得到光源初始參數(shù)；基于所述反射光強數(shù)據(jù)和所述光源初始參數(shù)，對光源角度和光源強度進行非線性控制，得到光源控制參數(shù)；計算所述多個光源的通道權(quán)重，并對所述光源控制參數(shù)進行差異化處理，得到協(xié)同光源配置參數(shù)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人深圳市金鼎勝光電股份有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市寶安區(qū)石巖街道浪心社區(qū)洲石路49號凱欣達科技園廠房一二層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。