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龍圖騰網恭喜深圳市金鼎勝光電股份有限公司申請的專利半導體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119445046B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510047708.0，技術領域涉及：G06V10/14；該發明授權半導體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設備是由王潔;陳新民;唐建明;張桂英;周正恩設計研發完成，并于2025-01-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本半導體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設備在說明書摘要公布了：本發明涉及光源配置技術領域，公開了一種半導體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設備，該方法包括：獲取半導體晶圓圖像并進行動態圖卷積處理和缺陷特征增強，得到增強缺陷特征圖；將增強缺陷特征圖輸入雙路深度神經網絡進行反射光強計算和圖像質量評分，得到缺陷區域的反射光強數據以及圖像質量評分數據；獲取多個光源的光源輸入電流和光強傳感器數據，并結合圖像質量評分數據對光源角度參數進行識別計算，得到光源初始參數；基于反射光強數據和光源初始參數進行非線性控制，得到光源控制參數；計算多個光源的通道權重并進行差異化處理，得到協同光源配置參數，本發明提升了缺陷檢測的準確性和可靠性，降低了光源參數配置的人工調試成本。

本發明授權半導體晶圓缺陷檢測光源配置方法、裝置及設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體晶圓缺陷檢測光源配置方法，其特征在于，所述方法包括：獲取半導體晶圓圖像并進行動態圖卷積處理和缺陷特征增強，得到增強缺陷特征圖；將所述增強缺陷特征圖輸入雙路深度神經網絡進行反射光強計算和圖像質量評分，得到缺陷區域的反射光強數據以及圖像質量評分數據；獲取多個光源的光源輸入電流數據和光強傳感器數據，并結合所述圖像質量評分數據對光源角度參數進行識別計算，得到光源初始參數；基于所述反射光強數據和所述光源初始參數，對光源角度和光源強度進行非線性控制，得到光源控制參數；計算所述多個光源的通道權重，并對所述光源控制參數進行差異化處理，得到協同光源配置參數。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市金鼎勝光電股份有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市寶安區石巖街道浪心社區洲石路49號凱欣達科技園廠房一二層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。