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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市新晶路電子科技有限公司申請的專利一種晶圓上料裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119560449B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510114774.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓上料裝置是由謝亮春;吳澤曉;張小波設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓上料裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種晶圓上料裝置，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，包括：底板；支持組件；支持組件包括固定連接在底板的頂端兩側(cè)的安裝架；送料組件；送料組件包括固定連接在底板頂端一側(cè)的氣缸一，氣缸一的驅(qū)動端固定連接有主動移動座；夾持組件；夾持組件包括固定連接在主動移動座上的氣缸二，氣缸二的驅(qū)動端固定連接有支板，支板的內(nèi)部兩側(cè)均開設(shè)有滑槽；這種設(shè)計(jì)通過氣動裝置的配合，送料與夾持過程同步進(jìn)行，提高了操作效率，減少了停頓時間，保障了晶圓在傳輸過程中的穩(wěn)定性與連續(xù)性，與真空吸盤吸附相比，本方案不依賴于晶圓的表面特性，因此對晶圓的表面平整度要求較低，避免了表面平整度對晶圓穩(wěn)定性產(chǎn)生影響，確保了更高的穩(wěn)定性和安全性。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓上料裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓上料裝置，其特征在于，包括：底板（1）；支持組件（2）；支持組件（2）包括固定連接在底板（1）的頂端兩側(cè)的安裝架（21）；送料組件（3）；送料組件（3）包括固定連接在底板（1）頂端一側(cè)的氣缸一（31），所述氣缸一（31）的驅(qū)動端固定連接有主動移動座（32）；夾持組件（4）；夾持組件（4）包括固定連接在主動移動座（32）上的氣缸二（41），所述氣缸二（41）的驅(qū)動端固定連接有支板（42），所述支板（42）的內(nèi)部兩側(cè)均開設(shè)有滑槽（43），所述滑槽（43）上滑動連接有移動板（45），兩個所述移動板（45）的相近一端固定連接有氣缸三（44）；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件（5）；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件（5）包括固定連接在移動板（45）上的安裝板（51），所述安裝板（51）上安裝有電機(jī)（52），所述電機(jī)（52）的驅(qū)動端固定連接有主動齒輪（53），所述主動齒輪（53）上固定連接有延伸桿一（54），所述延伸桿一（54）的內(nèi)部固定連接有從動齒輪（56）；翻轉(zhuǎn)組件（6）；翻轉(zhuǎn)組件（6）包括蝸輪（61）與定位圈（64），所述蝸輪（61）的外側(cè)固定連接有支撐座（62），所述支撐座（62）的兩側(cè)均固定連接有轉(zhuǎn)塊（63），所述定位圈（64）的內(nèi)部開設(shè)有轉(zhuǎn)槽（65）；夾持調(diào)節(jié)組件（7）；夾持調(diào)節(jié)組件（7）包括固定連接在支撐座（62）兩端的卡架（71），所述卡架（71）的內(nèi)部固定連接有卡塊（72），所述支撐座（62）的頂端滑動連接有夾持夾（73），所述夾持夾（73）的兩側(cè)均開設(shè)有卡槽（74），所述夾持夾（73）的一端設(shè)置有推動槽（75）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人深圳市新晶路電子科技有限公司，其通訊地址為：518110 廣東省深圳市龍華區(qū)福城街道桔塘社區(qū)榮富路14號2025銘廣智創(chuàng)園廠房A棟101；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。