恭喜三星電子株式會(huì)社文勇升獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜三星電子株式會(huì)社申請(qǐng)的專(zhuān)利表膜和包括其的掩模版獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN110119064B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：201910066838.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F1/48；該發(fā)明授權(quán)表膜和包括其的掩模版是由文勇升;金熙范;丁昶榮設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-01-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。
本表膜和包括其的掩模版在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及表膜和包括其的掩模版。提供待用于光刻工藝的表膜。該表膜包括如下的膜，所述膜的至少一部分包括碳同素異形體。所述膜具有第一表面和與所述第一表面相反的第二表面，該膜包括包含摻雜劑的摻雜區(qū)域，該摻雜區(qū)域與所述第一表面相鄰，所述摻雜劑包括硼或氮的至少一種，以及所述摻雜區(qū)包括所述摻雜劑的至少一種的原子與碳原子之間的鍵。
本發(fā)明授權(quán)表膜和包括其的掩模版在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.表膜，包括：膜，所述膜的至少一部分包括碳同素異形體，其中所述膜具有第一表面和與所述第一表面相反的第二表面，所述膜包括包含摻雜劑的摻雜區(qū)域，所述摻雜區(qū)域與所述第一表面相鄰，所述摻雜劑包括硼或氮的至少一種，以及所述摻雜區(qū)域包括所述摻雜劑的至少一種的原子與碳原子之間的鍵。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人三星電子株式會(huì)社，其通訊地址為：韓國(guó)京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報(bào)告根據(jù)公開(kāi)、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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