恭喜信越化學工業株式會社渡部武紀獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜信越化學工業株式會社申請的專利成膜方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112601839B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980055286.4，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權成膜方法是由渡部武紀;橋上洋設計研發完成，并于2019-06-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本成膜方法在說明書摘要公布了：本發明為一種成膜方法，其是在成膜部對霧進行熱處理而進行成膜的成膜方法，其包括：在霧化部將原料溶液霧化而產生霧的工序；經由連接所述霧化部和所述成膜部的輸送部，通過載氣將所述霧從所述霧化部輸送至所述成膜部的工序；以及，在所述成膜部對所述霧進行熱處理，從而在基體上進行成膜的工序，當將所述載氣的流量設為QL分、將所述載氣的溫度設為T℃時，以7＜T+Q＜67的方式對所述載氣的流量和所述載氣的溫度進行控制。由此可以提供一種成膜速度優異的成膜方法。
本發明授權成膜方法在權利要求書中公布了：1.一種成膜方法，其是在成膜部對霧進行熱處理而進行成膜的成膜方法，其特征在于，包括：在霧化部將原料溶液霧化而產生霧的工序；經由連接所述霧化部和所述成膜部的輸送部，通過載氣將所述霧從所述霧化部輸送至所述成膜部的工序；以及在所述成膜部對所述霧進行熱處理，從而在基體上進行成膜的工序，所述成膜方法中，當將所述載氣的流量設為QL分、將所述載氣的溫度設為T℃時，以7＜T+Q＜67的方式對所述載氣的流量和所述載氣的溫度進行控制，使用水作為原料溶液的溶劑，將所述成膜部的壓力設為大氣壓，將所述載氣的流量Q設為0.01～60L分。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人信越化學工業株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號