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龍圖騰網恭喜南京偉測半導體科技有限公司申請的專利晶圓分導設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114927448B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210579725.5，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權晶圓分導設備是由吳慶;王剛;聞國濤;陳迎濤;高大會設計研發完成，并于2022-03-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓分導設備在說明書摘要公布了：本申請公開晶圓分導設備及其工作方法，所述晶圓分導設備的工作方法包括：在承載座上形成第一承載位，用以承載裝有待分導晶圓的承載晶舟；承載于所述第一承載位的所述承載晶舟通過帶移組件帶動止移擋移動，以避讓出用于分導承載于所述承載晶舟的分導臂移動的空間，其中所述止移擋被設置沿多個分導臂排列的方向延伸，所述止移擋以能夠被所述帶移組件帶動而能夠在移離所述推導端移動路徑的狀態和回復至所述推導端移動路徑的狀態之間切換的方式設置于所述承載座，其中每個所述分導臂與所述承載晶舟的第一放置槽的晶圓相對應；推動所述分導臂，進而分導出與被推動的所述分導臂相對應且位于所述承載晶舟的第一放置槽的所述晶圓。

本發明授權晶圓分導設備在權利要求書中公布了：1.晶圓分導設備，用于通過至少一分導組件的分導臂將至少一晶圓分導出承載晶舟，其中所述分導組件包括導向主體和多個間隔設置的分導臂，其中每個所述分導臂具有推導端，其中所述分導臂可平行滑動地設置在所述導向主體，所述承載晶舟具有第一入口、第一出口以及與所述第一入口和所述第一出口連通的第一存放空間，所述承載晶舟上形成所述第一存放空間的內壁上形成至少一組第一放置槽，其中所述第一放置槽沿橫向延伸，且介于所述第一入口和所述第一出口之間，用以放置所述晶圓，其特征在于，所述晶圓分導設備包括：承載座，其中所述承載座形成第一承載位，用以承載所述承載晶舟，其中所述承載座形成第二承載位，用以承載接收晶舟；至少兩導準機構，其中每個所述導準機構包括至少一止移擋、帶移組件和至少兩個限位構件，所述止移擋被設置沿多個所述分導臂排列的方向延伸，所述止移擋以能夠被所述帶移組件帶動而能夠在移離所述推導端移動路徑的狀態和回復至所述推導端移動路徑的狀態之間切換的方式設置于所述承載座，以當所述帶移組件帶動所述止移擋移動時，所述止移擋移離所述推導端移動路徑，從而允許所述推導端越過所述止移擋的位置，而伸入所述承載晶舟的所述第一存放空間，所述帶移組件包括至少一滑動塊、連桿和彈性件，所述止移擋和所述滑動塊分別被固定于所述連桿的兩端，并且所述彈性件設置于所述滑動塊和所述承載座形成的阻擋壁之間，所述滑動塊可沿與所述分導臂移動的方向垂直的橫向方向滑動地設置于所述承載座，其中一個所述帶移組件的滑動塊被設置于是多數第一承載位的邊緣，其中另一個所述帶移組件的滑動塊被設置于所述第二承載位的邊緣，其中一個所述限位構件被設置于與一個所述滑動塊相對的位置，以與所述滑動塊形成一個大小可調的卡口，而另一個所述限位構件被設置于與另一個所述滑動塊相對的位置，以與另一個所述滑動塊形成另一個大小可調的卡口。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京偉測半導體科技有限公司，其通訊地址為：210000 江蘇省南京市浦口區浦口經濟開發區雙峰路69號C-93；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。