恭喜合肥真萍電子科技有限公司劉漢東獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)恭喜合肥真萍電子科技有限公司申請的專利一種石英舟裝載晶圓的裝載裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN114743911B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202210349729.4，技術領域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權一種石英舟裝載晶圓的裝載裝置是由劉漢東設計研發(fā)完成，并于2022-04-02向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本一種石英舟裝載晶圓的裝載裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種石英舟裝載晶圓的裝載裝置，包括兩組升降機構，石英舟置于其中一組升降機構的運動部件上，機械手置于另一組升降機構的運動部件上，兩組升降機構同步反向運動。本發(fā)明能夠具有較高的裝載效率。
本發(fā)明授權一種石英舟裝載晶圓的裝載裝置在權利要求書中公布了：1.一種石英舟裝載晶圓的裝載裝置，包括用于裝載晶圓的石英舟，以及用于向石英舟裝入晶圓的機械手，其特征在于：還包括兩組升降機構，所述石英舟置于其中一組升降機構的運動部件上，機械手置于另一組升降機構的運動部件上，兩組升降機構通過同步反向傳動機構連接，以使兩組升降機構的運動部件同步反向運動；兩組升降機構均為絲桿滑臺機構，絲桿滑臺機構中的滑臺分別豎直升降，滑臺作為升降運動的運動部件；所述同步反向傳動機構包括同步帶機構和齒輪組，齒輪組中至少一個齒輪固定于其中一組絲桿滑臺機構的絲桿，同步帶機構中一個帶輪固定于另一組絲桿滑臺機構的絲桿，同步帶機構中另一個帶輪與齒輪組中其他至少一個齒輪同軸連接，通過齒輪組中齒輪和同步帶機構配合實現(xiàn)同步運動的反向傳遞。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人合肥真萍電子科技有限公司，其通訊地址為：230091 安徽省合肥市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)習友路東,慈光路南清華啟迪科技城創(chuàng)客空間AB幢A-1007室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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