恭喜合肥晶合集成電路股份有限公司周成獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜合肥晶合集成電路股份有限公司申請的專利3D CMOS圖像傳感器及其形成方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115020437B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210850651.4,技術領域涉及:H10F39/18;該發明授權3D CMOS圖像傳感器及其形成方法是由周成;王厚有設計研發完成,并于2022-07-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本3D CMOS圖像傳感器及其形成方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種3DCMOS圖像傳感器及其形成方法,涉及圖像傳感器領域,包括:襯底,襯底內包括至少一個光電二極管;阱區,阱區形成于所述光電二極管上方并與所述光電二極管連接,所述阱區為薄膜空腔結構;浮置擴散區,浮置擴散區形成于所述襯底上且位于所述阱區上方,并與所述阱區連接;以及,傳輸柵,傳輸柵浮置于所述襯底上方且將所述阱區包圍,所述傳輸柵為金屬柵。通過將所述傳輸柵和浮置擴散區浮置于所述襯底上方,浮置擴散區可以自由擴展面積,增加滿阱容量。另外,使用金屬柵作為傳輸柵,減少了柵電阻,增加傳輸柵響應速度,有利于增加光量子效率。采用薄膜空腔結構構成阱區,阱區無需作額外的離子注入摻雜,有利于降低工藝難度。
本發明授權3D CMOS圖像傳感器及其形成方法在權利要求書中公布了:1.一種3DCMOS圖像傳感器,其特征在于,包括:襯底,所述襯底內包括至少一個光電二極管;阱區,所述阱區形成于所述光電二極管上方,并與所述光電二極管連接,所述阱區為薄膜空腔結構;浮置擴散區,所述浮置擴散區形成于所述襯底上且位于所述阱區上方,并與所述阱區連接;以及,傳輸柵,所述傳輸柵浮置于所述襯底上方且將所述阱區包圍,所述傳輸柵為金屬柵;第一介質層,所述第一介質層位于所述傳輸柵與所述襯底之間;以及貫穿所述第一介質層的第一開口;第一多晶硅層,所述第一多晶硅層覆蓋所述第一開口的側壁和底壁,以構成所述阱區;第三介質層,所述第三介質層填充于所述第一開口中;第二開口,所述第二開口形成于所述第一開口中且位于所述第三介質層上方;以及,第二多晶硅層,所述第二多晶硅層填充于所述第二開口中,以形成所述浮置擴散區。
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