株式會(huì)社荏原制作所山崎岳獲國(guó)家專利權(quán)
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)!專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便!
龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社荏原制作所申請(qǐng)的專利基板保持器及基板處理裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN118401711B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202280046514.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C25D17/06;該發(fā)明授權(quán)基板保持器及基板處理裝置是由山崎岳;尾形奨一郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-12-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本基板保持器及基板處理裝置在說(shuō)明書摘要公布了:本公開提供一種構(gòu)成為用于將第一保持件與第二保持件相互固定的機(jī)構(gòu)能夠以不接觸的方式操作的基板保持器。本公開所涉及的基板保持器具備:第一保持件;第二保持件,用于與第一保持件一起夾入并保持基板;卡合部件,設(shè)置于第一保持件和第二保持件中的一方;以及被卡合部件,固定于第一保持件和第二保持件中的另一方,卡合部件構(gòu)成為具有磁鐵,通過(guò)作用于磁鐵的磁力而能夠在鎖定位置與解鎖位置之間移動(dòng),上述鎖定位置是卡合部件與被卡合部件卡合而將第一保持件與第二保持件相互固定的位置,上述解鎖位置是卡合部件與被卡合部件的卡合被解除而將第一保持件與第二保持件的固定解除的位置。
本發(fā)明授權(quán)基板保持器及基板處理裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基板保持器,其特征在于,具備:第一保持件;第二保持件,用于與所述第一保持件一起夾入并保持基板;卡合部件,設(shè)置于所述第一保持件和所述第二保持件中的一方;以及被卡合部件,固定于所述第一保持件和所述第二保持件中的另一方,所述卡合部件構(gòu)成為具有磁鐵,通過(guò)作用于所述磁鐵的磁力而能夠在鎖定位置與解鎖位置之間移動(dòng),所述鎖定位置是所述卡合部件與所述被卡合部件卡合而將所述第一保持件與所述第二保持件相互固定的位置,所述解鎖位置是所述卡合部件與所述被卡合部件的卡合被解除而解除所述第一保持件與所述第二保持件的固定的位置,所述基板保持器還具備密封部件,在第一保持件以及第二保持件保持所述基板時(shí),第一保持件、第二保持件以及密封部件構(gòu)成為形成密閉空間,所述卡合部件以及所述被卡合部件設(shè)置于所述密閉空間的內(nèi)部。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人株式會(huì)社荏原制作所,其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息,力求客觀、公正,但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
- 巴科股份有限公司D·L·A·麥斯獲國(guó)家專利權(quán)
- 合肥有感科技有限責(zé)任公司王哲獲國(guó)家專利權(quán)
- 華為技術(shù)有限公司陳軍獲國(guó)家專利權(quán)
- 株式會(huì)社NTT都科摩吉岡翔平獲國(guó)家專利權(quán)
- 杜比國(guó)際公司K·克喬埃爾林獲國(guó)家專利權(quán)
- 中國(guó)原子能科學(xué)研究院彭朝暉獲國(guó)家專利權(quán)
- 原相科技股份有限公司韓威如獲國(guó)家專利權(quán)
- 佛山市順德區(qū)美的電熱電器制造有限公司吳慧民獲國(guó)家專利權(quán)
- 連訊通信(天津)有限公司許煥彬獲國(guó)家專利權(quán)
- 炬芯(珠海)科技有限公司熊江獲國(guó)家專利權(quán)


熱門推薦
- 三星電機(jī)株式會(huì)社鄭昇賢獲國(guó)家專利權(quán)
- 華為技術(shù)有限公司杜振國(guó)獲國(guó)家專利權(quán)
- 深圳市拓安信計(jì)控儀表有限公司鄧立群獲國(guó)家專利權(quán)
- 國(guó)家電投集團(tuán)遠(yuǎn)達(dá)環(huán)保工程有限公司重慶科技分公司李升華獲國(guó)家專利權(quán)
- 華為技術(shù)有限公司徐杰獲國(guó)家專利權(quán)
- 廈門建霖健康家居股份有限公司沈永坤獲國(guó)家專利權(quán)
- 弗提圖德薩沃有限公司請(qǐng)求不公布姓名獲國(guó)家專利權(quán)
- 葉宏一獲國(guó)家專利權(quán)
- 西安交通大學(xué)孫劍獲國(guó)家專利權(quán)
- 株洲聯(lián)誠(chéng)集團(tuán)控股股份有限公司杜鑫獲國(guó)家專利權(quán)