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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會(huì)社荏原制作所申請的專利基板保持器及基板處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118401711B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202280046514.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C25D17/06；該發(fā)明授權(quán)基板保持器及基板處理裝置是由山崎岳;尾形奨一郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-12-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板保持器及基板處理裝置在說明書摘要公布了：本公開提供一種構(gòu)成為用于將第一保持件與第二保持件相互固定的機(jī)構(gòu)能夠以不接觸的方式操作的基板保持器。本公開所涉及的基板保持器具備：第一保持件；第二保持件，用于與第一保持件一起夾入并保持基板；卡合部件，設(shè)置于第一保持件和第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于第一保持件和第二保持件中的另一方，卡合部件構(gòu)成為具有磁鐵，通過作用于磁鐵的磁力而能夠在鎖定位置與解鎖位置之間移動(dòng)，上述鎖定位置是卡合部件與被卡合部件卡合而將第一保持件與第二保持件相互固定的位置，上述解鎖位置是卡合部件與被卡合部件的卡合被解除而將第一保持件與第二保持件的固定解除的位置。

本發(fā)明授權(quán)基板保持器及基板處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板保持器，其特征在于，具備：第一保持件；第二保持件，用于與所述第一保持件一起夾入并保持基板；卡合部件，設(shè)置于所述第一保持件和所述第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于所述第一保持件和所述第二保持件中的另一方，所述卡合部件構(gòu)成為具有磁鐵，通過作用于所述磁鐵的磁力而能夠在鎖定位置與解鎖位置之間移動(dòng)，所述鎖定位置是所述卡合部件與所述被卡合部件卡合而將所述第一保持件與所述第二保持件相互固定的位置，所述解鎖位置是所述卡合部件與所述被卡合部件的卡合被解除而解除所述第一保持件與所述第二保持件的固定的位置，所述基板保持器還具備密封部件，在第一保持件以及第二保持件保持所述基板時(shí)，第一保持件、第二保持件以及密封部件構(gòu)成為形成密閉空間，所述卡合部件以及所述被卡合部件設(shè)置于所述密閉空間的內(nèi)部。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社荏原制作所，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。