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龍圖騰網恭喜浙江大學申請的專利一種浸沒單元的污染檢測裝置及檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117805097B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311852023.0，技術領域涉及：G01N21/84；該發明授權一種浸沒單元的污染檢測裝置及檢測方法是由阮曉東;羅晉;胡亮;蘇芮;付新設計研發完成，并于2023-12-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種浸沒單元的污染檢測裝置及檢測方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種浸沒單元的污染檢測裝置及檢測方法。裝置包括：浸沒單元的下端面固定連接有工裝支架組件，浸沒單元和工裝支架組件之間形成的腔室內裝有滑軌，運動電機驅動攝像頭在工裝支架組件的滑軌上按照指定軌跡運動，攝像頭通過連接線纜和控制器連接。方法包括：攝像頭對所有的浸液供給開口和浸液回收開口進行多點拍攝得到多張局部圖像并傳輸至控制器，控制器將多張局部圖像進行拼接并進行檢測判斷是否存在污染物堵塞浸液供給開口和浸液回收開口的情況。本發明定期對污染物堵塞情況進行檢測并進行清潔，從而保證流場穩定運行，提高光刻機的性能和可靠性，多點拍攝的便捷操作避免了人工對準時的不可靠性，提高了操作便利性。

本發明授權一種浸沒單元的污染檢測裝置及檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種浸沒單元的污染檢測裝置，所述污染檢測裝置和浸沒單元（10）的下端面固定連接，浸沒單元（10）的上端面之上布置有投影物鏡（20），其特征在于：所述污染檢測裝置包括工裝支架組件（30）、攝像頭（40）、運動電機（50）和控制器（60）；浸沒單元（10）的下端面開設有多個浸液供給開口（12）和多個浸液回收開口（11），浸沒單元（10）的下端面固定連接有工裝支架組件（30），浸沒單元（10）和工裝支架組件（30）之間形成密閉的真空腔室，腔室內裝有滑軌（33），滑軌（33）內裝有運動電機（50），所述運動電機（50）在滑軌（33）內移動并驅動和自身連接的攝像頭（40）移動，所述攝像頭（40）沿朝向浸液供給開口（12）和浸液回收開口（11）方向布置，所述攝像頭（40）通過連接線纜（70）和控制器（60）連接；所述污染檢測裝置用于光刻機中；所述工裝支架組件（30）包括工裝支架（31）和連接件（32）；所述工裝支架（31）的表面裝有多個連接件（32），所述工裝支架（31）通過多個連接件（32）和浸沒單元（10）表面開設的工裝接口對應固定裝配；所述滑軌（33）安裝在所述多個浸液供給開口（12）和多個浸液回收開口（11）正對的工裝支架（31）內壁表面。

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