恭喜湖南紅太陽光電科技有限公司黃嘉斌獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜湖南紅太陽光電科技有限公司申請的專利一種石英腔室等離子清洗裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222700402U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420219342.1，技術領域涉及：C23C16/44；該實用新型一種石英腔室等離子清洗裝置是由黃嘉斌;趙增超;鄧新新;楊彬;李明;成秋云設計研發完成，并于2024-01-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種石英腔室等離子清洗裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種石英腔室等離子清洗裝置，包括：石英腔室、真空泵和集成式ICP發生器，所述真空泵與石英腔室連通，所述石英腔室上設有用于輸入工藝氣體的進氣法蘭，所述集成式ICP發生器可拆卸設置在石英腔室內部；當石英腔室進行清洗時，所述集成式ICP發生器的放電端同軸固定在石英腔室內，集成式ICP發生器的電源端設置在石英腔室外部，通過集成式ICP發生器進行輝光放電，以激發工藝氣體電離成等離子體，完成石英腔室干法清洗；當石英腔室完成清洗后，將集成式ICP發生器移除。本實用新型具有結構緊湊、便于維護、清洗效率高等優點，清洗時無需將石英腔室從LPCVD設備中拆裝，有利于提高設備產能。
本實用新型一種石英腔室等離子清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種石英腔室等離子清洗裝置，其特征在于，包括：石英腔室1、真空泵9和集成式ICP發生器，所述真空泵9與石英腔室1連通，所述石英腔室1的爐口端設有用于輸入工藝氣體的爐口法蘭4，所述集成式ICP發生器可拆卸設置在石英腔室1內部；當石英腔室1進行清洗時，所述集成式ICP發生器的放電端同軸固定在石英腔室1內，集成式ICP發生器的電源端設置在石英腔室1外部，通過集成式ICP發生器進行輝光放電，以激發工藝氣體電離成等離子體，完成石英腔室干法清洗；當石英腔室1完成清洗后，將集成式ICP發生器移除。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人湖南紅太陽光電科技有限公司，其通訊地址為：410205 湖南省長沙市高新區麓谷街道東方紅中路559號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號