恭喜隆基綠能科技股份有限公司張彤獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜隆基綠能科技股份有限公司申請的專利一種鍍膜裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222700401U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202420599803.2,技術領域涉及:C23C14/54;該實用新型一種鍍膜裝置是由張彤;杜海錄;蘆曉康;孫玉梁;陳哲;王建波;徐希翔設計研發完成,并于2024-03-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種鍍膜裝置在說明書摘要公布了:本申請公開了一種鍍膜裝置,包括:鍍膜腔和補償板,鍍膜腔內設有鍍膜源,用于對工件進行鍍膜;補償板設于鍍膜腔內,補償板包括相對的第一端和第二端,第一端連接于鍍膜腔的腔壁,第二端延伸至鍍膜源與工件之間,第二端的邊緣形成有凹凸結構,用于調節工件表面的膜層分布均勻性。利用補償板上的凹凸結構可以對鍍膜源上方不同區域形成不同的遮擋作用,進而,可以影響由鍍膜源產生的鍍膜材料在工件表面不同區域的沉積量,從而實現了對工件表面的膜層分布均勻性的精準調節作用,且不受工件的鍍膜面積限制,適應性更強。
本實用新型一種鍍膜裝置在權利要求書中公布了:1.一種鍍膜裝置,其特征在于,包括:鍍膜腔,所述鍍膜腔內設有鍍膜源,用于對工件進行鍍膜;補償板,補償板設于所述鍍膜腔內,所述補償板包括相對的第一端和第二端,所述第一端安裝于所述鍍膜腔的腔壁,所述第二端延伸至所述鍍膜源與所述工件之間,所述第二端的邊緣形成有凹凸結構,用于調節所述工件表面的膜層分布均勻性。
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