恭喜湖南紅太陽光電科技有限公司彭宜昌獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜湖南紅太陽光電科技有限公司申請的專利一種疊層石墨舟干法清洗設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222695553U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420657474.2，技術領域涉及：B08B9/093；該實用新型一種疊層石墨舟干法清洗設備是由彭宜昌;陳臻陽;李斯;許爍爍設計研發完成，并于2024-04-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種疊層石墨舟干法清洗設備在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種疊層石墨舟干法清洗設備，包括：清洗腔、推舟機構、疊層石墨舟組和抽真空組件，推舟機構用于帶動疊層石墨舟組傳入或傳出清洗腔；清洗腔包括：腔體、放電模塊、支撐模塊和進氣模塊，所述進氣模塊設置在腔體的前端，以實現工藝氣體輸入腔體內，腔體的尾端與抽真空組件，以實現腔體內抽真空；放電模塊設置在腔體頂部，放電模塊外接射頻電源，用于激發腔體內的工藝氣體電離形成等離子體以清洗疊層石墨舟組；支撐模塊設置在腔體底部，用于實現疊層石墨舟組固定放置在腔體內。本實用新型具有結構緊湊、便于維護、清洗效率高等優點，有利于提高設備產能。
本實用新型一種疊層石墨舟干法清洗設備在權利要求書中公布了：1.一種疊層石墨舟干法清洗設備，其特征在于，包括：清洗腔2、推舟機構3、疊層石墨舟組4和抽真空組件，所述推舟機構3用于帶動疊層石墨舟組4傳入或傳出清洗腔2；所述清洗腔2包括：腔體21、放電模塊22、支撐模塊23和進氣模塊24，所述進氣模塊24設置在腔體21的前端，以實現工藝氣體輸入腔體21內，腔體21的尾端與抽真空組件，以實現腔體21內抽真空；所述放電模塊22設置在腔體21頂部，放電模塊22外接射頻電源，用于激發腔體21內的工藝氣體電離形成等離子體以清洗疊層石墨舟組4；所述支撐模塊23設置在腔體21底部，用于實現疊層石墨舟組4固定放置在腔體21內。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人湖南紅太陽光電科技有限公司，其通訊地址為：410205 湖南省長沙市高新區麓谷街道東方紅中路559號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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