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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江大學(xué)申請的專利一種基于級聯(lián)系統(tǒng)的溫度波動衰減器及優(yōu)化制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119002193B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411430565.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種基于級聯(lián)系統(tǒng)的溫度波動衰減器及優(yōu)化制造方法是由申英男;彭杰峰;付新;胡亮;劉偉庭;蘇芮設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-10-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于級聯(lián)系統(tǒng)的溫度波動衰減器及優(yōu)化制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種基于級聯(lián)系統(tǒng)的溫度波動衰減器及優(yōu)化制造方法。溫度波動衰減器包括主殼體和多個多孔板，主殼體內(nèi)部為空心，形成空腔結(jié)構(gòu)，每個多孔板為布有小孔的圓板，多個多孔板沿流體的流通方向平行間隔布置，每個多孔板垂直于流體的流通方向，用于對流體進行擋流和波動衰減；優(yōu)化制造方法包括獲取空腔結(jié)構(gòu)的體積V、多孔板的直徑D、超潔凈流體的密度ρ、流體的流速v和時滯時間τ，然后構(gòu)建溫度波動衰減器的時滯模型Gs，最終針對時滯模型Gs進行優(yōu)化求解，求解出多孔板的數(shù)量N，多孔板上的小孔數(shù)量n，多孔板上的小孔孔徑d，進而制造得到優(yōu)化后的溫度波動衰減器。本發(fā)明提高了衰減器在高頻溫度擾動下的衰減性能，有利于提高光刻機的溫度控制精度。

本發(fā)明授權(quán)一種基于級聯(lián)系統(tǒng)的溫度波動衰減器及優(yōu)化制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于級聯(lián)系統(tǒng)的溫度波動衰減器，其特征在于：包括主殼體和多個多孔板（4）；所述主殼體內(nèi)部為空心，形成空腔結(jié)構(gòu)，空腔結(jié)構(gòu)沿流體的流通方向的兩端設(shè)置有出入口；每個所述多孔板（4）為布有小孔（8）的圓板，多個多孔板（4）沿流體的流通方向平行間隔布置，每個多孔板（4）垂直于流體的流通方向，用于對流體進行擋流和波動衰減；所述空腔結(jié)構(gòu)分為位于中心的中間腔（2）和位于中間腔（2）周圍的環(huán)形腔，環(huán)形腔和中間腔（2）之間被環(huán)形隔板隔開，環(huán)形腔內(nèi)再設(shè)置有至少一個環(huán)形隔板使得自身分隔為多個從內(nèi)到外同心布置的環(huán)形子腔；每個環(huán)形隔板在靠近入口或者出口的一端開設(shè)有通口（7），使得環(huán)形隔板所在相鄰的兩個腔之間通過通口（7）連通，每相鄰兩個環(huán)形隔板所開設(shè)的通口（7）所靠近的口不同，且最內(nèi)側(cè)的環(huán)形隔板在靠近出口的一端開設(shè)通口（7）；最外側(cè)環(huán)形子腔的外側(cè)壁一處開設(shè)通口（7），通口（7）和集流器連通，且最外側(cè)環(huán)形腔外側(cè)壁開設(shè)的通口（7）和最外側(cè)環(huán)形腔內(nèi)側(cè)對應(yīng)環(huán)形隔板開設(shè)的通口（7）所靠近的口不同。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人浙江大學(xué)，其通訊地址為：310058 浙江省杭州市西湖區(qū)余杭塘路866號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。