恭喜無錫沃尼克半導(dǎo)體科技有限公司鄧南翔獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜無錫沃尼克半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體用石英軸拋光裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN118952021B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202411459835.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B24B29/04;該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體用石英軸拋光裝置是由鄧南翔;華錦賢;郁佳琦設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-10-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種半導(dǎo)體用石英軸拋光裝置在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種半導(dǎo)體用石英軸拋光裝置,包括支撐夾持單元、旋轉(zhuǎn)拋光單元和擦拭單元。本發(fā)明,驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以帶動(dòng)支撐夾持單元內(nèi)部夾持的石英軸旋轉(zhuǎn),并且驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過皮帶帶動(dòng)絲桿軸旋轉(zhuǎn),進(jìn)而帶動(dòng)拋光電機(jī)帶動(dòng)拋光盤在石英軸上移動(dòng),由于石英軸是旋轉(zhuǎn)的,而拋光盤是水平移動(dòng),故而拋光盤可以對(duì)石英軸整體進(jìn)行拋光,不需要單獨(dú)移動(dòng)拋光位置,進(jìn)而使得整個(gè)拋光效率提高,其中擦拭單元內(nèi)部的吸水海綿擦可以跟隨旋轉(zhuǎn)拋光單元進(jìn)行移動(dòng),且移動(dòng)的時(shí)候,吸水海綿擦可以對(duì)所拋光完畢的石英軸進(jìn)行擦拭,使得表面殘留的拋光液被吸水海綿擦所吸附,使得拋光完畢后,保證石英軸的潔凈性,適合廣泛推廣和使用。
本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體用石英軸拋光裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體用石英軸拋光裝置,包括支撐夾持單元、旋轉(zhuǎn)拋光單元和擦拭單元,其特征在于:所述支撐夾持單元包括操作臺(tái),所述操作臺(tái)一側(cè)安裝有第一固定座,所述操作臺(tái)另一側(cè)安裝有第二固定座,所述第一固定座安裝有三爪卡盤,且三爪卡盤上夾持設(shè)置有石英軸;所述旋轉(zhuǎn)拋光單元包括驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸末端和三爪卡盤轉(zhuǎn)動(dòng)中心連接,且驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸上安裝有驅(qū)動(dòng)帶輪,所述驅(qū)動(dòng)帶輪上套接設(shè)置有皮帶,所述皮帶另一側(cè)套接設(shè)置有從動(dòng)帶輪,所述從動(dòng)帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)中心安裝有絲桿軸,所述絲桿軸上套接設(shè)置有絲桿套環(huán),所述絲桿套環(huán)底部安裝有電動(dòng)推桿,所述電動(dòng)推桿上安裝有拋光電機(jī),所述拋光電機(jī)輸出端安裝有拋光盤,所述拋光盤外側(cè)包裹設(shè)置有安裝罩,且安裝罩上安裝有噴頭,且噴頭與石英軸豎直對(duì)應(yīng);所述擦拭單元包括吸水海綿擦,所述吸水海綿擦底座安裝有擠壓板,所述擠壓板底部安裝有插桿,所述插桿末端安裝有壓桿,所述壓桿底部滑動(dòng)設(shè)置有定位軌道,且定位軌道上安裝有若干對(duì)凸起,所述插桿上套接設(shè)置有定位套,所述定位套側(cè)壁安裝有L形支架,且L形支架和絲桿套環(huán)相互連接,所述絲桿套環(huán)兩側(cè)安裝有限位板,所述限位板末端安裝有限位套,所述限位套內(nèi)部活動(dòng)插接設(shè)置有限位桿,所述限位板側(cè)壁安裝有同步支架,所述同步支架與L形支架相互連接。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人無錫沃尼克半導(dǎo)體科技有限公司,其通訊地址為:214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)碩放香楠路81號(hào)A棟廠房;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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