買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜上海圖雙精密裝備有限公司申請的專利一種背面套刻精度驗證及套刻誤差補償方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119148478B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411506427.9，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種背面套刻精度驗證及套刻誤差補償方法及系統是由王金鳳;張光彩設計研發完成，并于2024-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種背面套刻精度驗證及套刻誤差補償方法及系統在說明書摘要公布了：本發明涉及光刻機領域，公開了一種背面套刻精度驗證及套刻誤差補償方法，包括以下步驟：在透明片正面制作第一套刻標記和在第一套刻標記周圍的第一刻度；采用背面顯微鏡抓圖保存掩模板對準標記，所述掩模板對準標記由第二套刻標記和在第二套刻標記周圍的第二刻度；用背面顯微鏡對準透明片正面的第一刻度和第二刻度，對準后曝光顯影出新制作標記；通過光學顯微鏡讀取新制作標記上的第一刻度和第二刻度，通過第一刻度和第二刻度的對齊程度得到套刻精度。

本發明授權一種背面套刻精度驗證及套刻誤差補償方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種背面套刻精度驗證及套刻誤差補償方法，其特征在于，包括以下步驟：在透明片正面制作第一套刻標記和在第一套刻標記周圍的第一刻度；采用背面顯微鏡抓圖保存掩模板對準標記，所述掩模板對準標記由第二套刻標記和在第二套刻標記周圍的第二刻度；用背面顯微鏡對準透明片正面的第一刻度和第二刻度，對準后曝光顯影出新制作標記；通過光學顯微鏡讀取新制作標記上的第一刻度和第二刻度，通過第一刻度和第二刻度的對齊程度得到套刻精度；所述新制作標記上的刻度采用智能識別方法：按照從左至右，從上到下的順序，識別縱向排列的4組刻度，并獲取刻度尖頭中點的坐標，并按照順序排列，得到第一、第二、第三、第四橫坐標集；計算任意兩組橫坐標集中坐標的縱坐標的差值；將差值最小的刻度作為橫向套刻誤差值；按照從上到下，從左至右的順序，識別橫向排列的4組刻度，并獲取刻度尖頭中點的坐標，并按照順序排列，得到第一、第二、第三、第四縱坐標集；計算任意兩組縱坐標集中坐標的橫坐標的差值；將差值最小的刻度作為縱向套刻誤差值；所述智能識別方法還包括校正步驟：分別計算第一與第二橫坐標集、第三與第四橫坐標集、第一與第二縱坐標集、第三與第四縱坐標集中首尾坐標形成的四邊形內的白色像素比例，得到第一橫比例、第二橫比例、第一縱比例、第二縱比例；根據第一橫比例、第二橫比例對縱向套刻誤差值進行校正；根據第一縱比例、第二縱比例對橫向套刻誤差值進行校正。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海圖雙精密裝備有限公司，其通訊地址為：200120 上海市浦東新區金海路955弄1號1層西側；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。