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龍圖騰網恭喜廈門特儀科技有限公司申請的專利一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119275163B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411733920.4，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測設備是由范智昆;連真;王世銳設計研發完成，并于2024-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測設備，所述晶圓固定工裝包括：工件吸盤，工件吸盤的上表面通過銜接套筒連接到旋轉馬達的輸出軸上；防掉片機構，包含可升降安裝于倒T形安裝座上的T形移動座，T形移動座的上表面固接有驅動座板，驅動座板靠近倒T形安裝座的一側向下翻折設置、并固接有一組對接板，對接板上通過導軌安裝板可移動安裝有絲桿座，絲桿座分別向外固接有夾緊驅動板，夾緊驅動板的端部向下固接有防掉片夾緊板；驅動座板上通過雙軸電機固接有一組旋向相反的驅動絲桿，驅動絲桿貫穿延伸至讓位孔的外側。本發明在低空間占用的前提下實現防掉片機構的設置，有效確保對晶圓工件的面朝下吸附固定的穩固性。

本發明授權一種晶圓固定工裝及使用其的晶圓檢測設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓固定工裝，其特征在于，包括：工件吸盤（1），所述工件吸盤（1）的下表面設置有相應的吸附孔（101），所述吸附孔（101）通過相應的抽真空接頭（2）連接到外部抽真空泵，所述工件吸盤（1）的上表面通過相應的銜接套筒（3）連接到相應的旋轉馬達（4）的輸出軸上，所述銜接套筒（3）的兩側分別設置有相應的連通孔（301）；防掉片機構（5），包含固接于所述銜接套筒（3）內側的工件吸盤（1）上的倒T形安裝座（501），所述倒T形安裝座（501）的一側可升降安裝有相應的T形移動座（502），所述T形移動座（502）的上表面固接有相應的驅動座板（503），所述驅動座板（503）靠近倒T形安裝座（501）的一側向下翻折設置、并固接有一組中部設置有讓位孔（6）的對接板（504），所述對接板（504）未連接于所述驅動座板（503）的一側固接有一相應的導軌安裝板（505），所述導軌安裝板（505）的兩側分別可移動安裝有相應的絲桿座（506），所述絲桿座（506）分別向外固接有相應的夾緊驅動板（507），所述夾緊驅動板（507）的端部分別延伸至所述工件吸盤（1）的外側、并向下固接有相應的防掉片夾緊板（508）；一組所述對接板（504）之間的驅動座板（503）上固定安裝有一相應的雙軸電機（509），所述雙軸電機（509）的輸出軸端固接有一組旋向相反的驅動絲桿（5010），所述驅動絲桿（5010）貫穿延伸至所述讓位孔（6）的外側，所述絲桿座（506）分別傳動連接到對應的驅動絲桿（5010）上；所述倒T形安裝座（501）背離所述雙軸電機（509）的一端固接有一用于驅動所述T形移動座（502）的電動缸（5011）。

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