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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市芯海微電子有限公司申請的專利一種EBGA工藝中的基板來料表面鍍金處理工藝獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119364669B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411930044.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05K3/38；該發(fā)明授權(quán)一種EBGA工藝中的基板來料表面鍍金處理工藝是由趙志勇;董純云;胡志東;康華榕設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種EBGA工藝中的基板來料表面鍍金處理工藝在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種EBGA工藝中的基板來料表面鍍金處理工藝，屬于半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，包括銅基板的清洗處理工藝及對清洗后的銅基板的鍍金工藝，所述銅基板的清洗處理工藝包括制備清洗液，所述清洗液包括組分A、組分B；組分A包括以下重量份數(shù)的組分：10?12份N?羥基鄰苯二甲酰亞胺對甲苯磺酸酯、24?25份微膠囊殼包裹的可見光產(chǎn)堿劑、10?12份陰離子表面活性劑，其中所述可見光產(chǎn)堿劑的光譜吸收范圍為200?500nm；組分B包括以下重量份數(shù)的組分：10?12份植物蛋白質(zhì)、復(fù)合蛋白酶、TG酶，植物蛋白質(zhì)與復(fù)合酶的質(zhì)量比為1：3?3.2，TG酶的加量為植物蛋白質(zhì)質(zhì)量的0.3?0.4%。本發(fā)明清洗后的銅基板表面形成防護膜，對銅基板具有好的防護效果。

本發(fā)明授權(quán)一種EBGA工藝中的基板來料表面鍍金處理工藝在權(quán)利要求書中公布了：1.一種EBGA工藝中的基板來料表面鍍金處理工藝，包括銅基板的清洗處理工藝及對清洗后的銅基板的鍍金工藝，其特征在于：所述銅基板的清洗處理工藝包括以下步驟：S1、制備清洗液，所述清洗液包括組分A、組分B；所述組分A包括以下重量份數(shù)的組分：10-12份N-羥基鄰苯二甲酰亞胺對甲苯磺酸酯、24-25份微膠囊殼包裹的可見光產(chǎn)堿劑、10-12份陰離子表面活性劑，其中所述可見光產(chǎn)堿劑的光譜吸收范圍為200-500nm，所述微膠囊殼為抗紫外微膠囊殼，所述微膠囊殼在酸性條件下破裂并釋放內(nèi)部的可見光產(chǎn)堿劑；所述陰離子表面活性劑包括質(zhì)量比為2-3：1的十二烷基苯磺酸鈉、陰離子聚丙烯酰胺；所述組分B包括以下重量份數(shù)的組分：10-12份植物蛋白質(zhì)、復(fù)合蛋白酶、TG酶，植物蛋白質(zhì)與復(fù)合酶的質(zhì)量比為1：3-3.2，TG酶的加量為植物蛋白質(zhì)質(zhì)量的0.3-0.4%；S2、將組分A中的N-羥基鄰苯二甲酰亞胺對甲苯磺酸酯、微膠囊殼包裹的可見光產(chǎn)堿劑、陰離子表面活性劑在去離子水中混合，混合均勻得到第一清洗液，再將銅基板放入第一清洗液中，在248nm的紫外光照下超聲波清洗20分鐘，隨后，采用450nm的LED光代替248nm的紫外光，在450nm的LED光照射下繼續(xù)超聲波清洗30-35分鐘后取出銅基板，取出銅基板后第一清洗液靜置10分鐘后過濾，得到濾液，所述濾液的pH為7-8；S3、將組分B中的植物蛋白質(zhì)加入濾液中攪拌均勻后升溫至50℃，在50℃下加入復(fù)合蛋白酶溶液、?Tris-HCl緩沖液，在攪拌轉(zhuǎn)速為200~300rpm下酶解2-3小時后得到第二清洗液，再將第一次清洗后的銅基板放入第二清洗液中，無紫外光照下超聲波清洗15分鐘后第二清洗液降溫至37℃并加入TG酶，繼續(xù)超聲波清洗30分鐘后取出銅基板，銅基板干燥后表面形成防護膜，完成銅基板的清洗處理。

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