恭喜旭化成株式會社松田隆之獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜旭化成株式會社申請的專利感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112368642B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201980041666.2,技術領域涉及:G03F7/031;該發明授權感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法是由松田隆之;國松真一設計研發完成,并于2019-06-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法在說明書摘要公布了:提供一種適合于在曝光后進行加熱,實現更高分辨率的感光性樹脂組合物。一種感光性樹脂組合物,其是用于在曝光后進行加熱,然后進行顯影而得到樹脂固化物的感光性樹脂組合物,以感光性樹脂組合物的總固體成分質量基準計,包含以下的成分:A堿溶性高分子:10質量%~90質量%;B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物:5質量%~70質量%;以及C光聚合引發劑:0.01質量%~20質量%,A堿溶性高分子整體中的苯乙烯和或苯乙烯衍生物的結構單元為15質量%以上。
本發明授權感光性樹脂組合物和抗蝕圖案的形成方法在權利要求書中公布了:1.一種感光性樹脂組合物,其是用于在曝光后進行加熱,然后進行顯影而得到樹脂固化物的感光性樹脂組合物,其特征在于,所述感光性樹脂組合物以該感光性樹脂組合物的總固體成分質量基準計,包含以下的成分:A堿溶性高分子:10質量%~90質量%;B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物:5質量%~70質量%;以及C光聚合引發劑:0.01質量%~20質量%,所述A堿溶性高分子整體中的苯乙烯和或苯乙烯衍生物的結構單元為15質量%以上,并且,具有芳香族烴基的單體成分的含有比例為50質量%以上,作為所述B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物,雙酚A骨架的濃度為0.18mol100g以上的化合物B-1的含量相對于所述感光性樹脂組合物的固體成分為0以上且18質量%以下,并且,包含相對于感光性樹脂組合物的固體成分總量為4質量%以上且40質量%以下的b1具有3個以上烯屬不飽和鍵的甲基丙烯酸酯化合物,[A堿溶性高分子的含量][B具有烯屬不飽和雙鍵的化合物的含量]的值為1.04以上,所述C光聚合引發劑包含蒽和或蒽衍生物。
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