恭喜珠海格力電器股份有限公司郭依騰獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜珠海格力電器股份有限公司申請的專利功率半導體器件及其制作工藝獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112397380B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910760390.5,技術領域涉及:H01L21/28;該發明授權功率半導體器件及其制作工藝是由郭依騰;史波設計研發完成,并于2019-08-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本功率半導體器件及其制作工藝在說明書摘要公布了:本申請涉及功率半導體器件技術領域,具體而言,涉及一種功率半導體器件及其制作工藝。功率半導體器件的制作工藝包括以下步驟:在襯底的正面沉積一層外延層并完成功率半導體器件正面結構的制作;對所述襯底的背面進行刻蝕,刻蝕穿整個襯底,直至外延層,形成引線孔;在所述引線孔里填充金屬并在所述襯底背面墊積形成背面金屬層,并退火合金,將所述外延層通過金屬引線到背面金屬層。本工藝不需對襯底進行減薄,而是采用引線孔技術,將背面電極引出。在不影響焊接工藝和功率半導體器件電性的基礎上,取締了減薄工藝,保留了襯底作為支撐,避免了減薄過程以及后續薄片制作工藝上造成的碎片風險,節約了成本。
本發明授權功率半導體器件及其制作工藝在權利要求書中公布了:1.一種功率半導體器件的制作工藝,其特征在于,包括以下步驟:在襯底的正面形成一層外延層并完成功率半導體器件正面結構的制作;對所述襯底的背面進行刻蝕,刻蝕穿整個襯底,直至外延層,形成引線孔;在所述引線孔里填充金屬并在所述襯底背面墊積形成背面金屬層,并退火合金,將所述外延層通過金屬引線到背面金屬層,器件背面的所述引線孔的總面積大于等于器件正面的引線孔的總面積。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人珠海格力電器股份有限公司,其通訊地址為:519070 廣東省珠海市前山金雞西路;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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