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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州潤邦半導(dǎo)體材料科技有限公司申請的專利一種顯影液組合物獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114265289B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111678801.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/32；該發(fā)明授權(quán)一種顯影液組合物是由馬曉明;王健;楊曉松設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-12-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種顯影液組合物在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種顯影液組合物，所述顯影液組合物包括有機胺、表面活性劑及有機溶劑，所述有機胺選自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ結(jié)構(gòu)的一種或多種有機胺。本發(fā)明的顯影液，通過加入特定的有機胺，在確保分辨率的同時還可改善直線邊緣的粗糙度及缺陷，擴大光刻工藝的窗口。

本發(fā)明授權(quán)一種顯影液組合物在權(quán)利要求書中公布了：1.一種適用于正性光刻膠的負性顯影工藝的顯影液組合物，其特征在于，所述顯影液組合物包括有機胺、表面活性劑及有機溶劑；所述顯影液組合物為由如下各質(zhì)量百分含量的組分組成：有機胺：0.01-1％、表面活性劑：0.01-1％，余量為有機溶劑；所述有機溶劑采用了濃度在95％以上的乙酸丁酯；所述有機胺選自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ結(jié)構(gòu)的一種或多種有機胺， ，其中，式Ⅱ中，R1選自-NH2、-CH2-NH2中的任意一種，R2選自-H、-OH、-CH3中的任意一種，n為1到20的整數(shù)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蘇州潤邦半導(dǎo)體材料科技有限公司，其通訊地址為：215634 江蘇省蘇州市張家港保稅區(qū)港澳路15號傳感產(chǎn)業(yè)園一樓北側(cè)106A室(潤邦)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。