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恭喜安徽微芯長江半導體材料有限公司王升獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜安徽微芯長江半導體材料有限公司申請的專利一種辨別導電型碳化硅晶片硅面和碳面的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114509459B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210186965.9,技術領域涉及:G01N23/207;該發明授權一種辨別導電型碳化硅晶片硅面和碳面的方法是由王升;賀賢漢;李有群;陳輝設計研發完成,并于2022-02-28向國家知識產權局提交的專利申請。

一種辨別導電型碳化硅晶片硅面和碳面的方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種辨別導電型碳化硅晶片硅面和碳面的方法,該方法通過導電型碳化硅晶片硅面和碳面X射線衍射強度的差異以及導電型碳化硅晶體生長中特有的黑芯來區別硅面和碳面。該方法解決了現有方法費時費力及對晶片帶來的損傷問題,適用范圍廣,簡單快捷,對晶片不會產生任何損傷,從而消除現有方法中晶片定位邊或V型槽對晶體生長的不利影響,提高晶片質量和有效使用面積。

本發明授權一種辨別導電型碳化硅晶片硅面和碳面的方法在權利要求書中公布了:1.一種辨別導電型碳化硅晶片硅面和碳面的方法,其特征在于,通過導電型碳化硅晶片硅面和碳面X射線衍射強度的差異以及導電型碳化硅晶體生長中特有的黑芯來區別硅面和碳面;經過如下工藝步驟:1將定向儀載物臺旋轉到θ角度處固定,蓋革計數器旋轉到2θ角度處并固定,θ為碳化硅0001面的衍射角度,數值為17.85°;2打開X射線定向儀電源及高壓開關,調節管電流為0.6~1A,打開X光閘;3將導電型碳化硅晶片垂直放在載物臺上,晶片一面緊貼吸盤口,晶片中心對準X射線發射窗口;4旋轉晶片同時觀察衍射強度指示窗口,當指針出現明顯偏轉時微調載物臺旋轉手柄,當指針偏轉到最大角度時該面記錄衍射強度數值a;5將晶片水平翻轉180度后垂直放在載物臺上,晶片另一面緊貼吸盤口,此時指針出現明顯偏轉,微調載物臺旋轉手柄,當指針偏轉到最大角度時記錄該面衍射強度數值b;6比較數值a和數值b的大小,并觀察此時晶片內部黑芯是位于晶片上部還是下部,當黑芯位于上部時,衍射強度小的面為硅面,衍射強度大的面為碳面;當黑芯位于下部時,衍射強度小的面為碳面,衍射強度大的面為硅面。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人安徽微芯長江半導體材料有限公司,其通訊地址為:244000 安徽省銅陵市經濟開發區西湖三路;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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