恭喜福建省晉華集成電路有限公司孔果果獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜福建省晉華集成電路有限公司申請的專利三維存儲器件及其制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114678366B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210303407.6,技術領域涉及:H10B41/30;該發明授權三維存儲器件及其制作方法是由孔果果;莊夢琦;周運帆;童宇誠;何世偉設計研發完成,并于2022-03-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本三維存儲器件及其制作方法在說明書摘要公布了:本發明公開了三維存儲器件及其制作方法,包括襯底以及存儲堆疊結構。存儲堆疊結構設置在襯底上,包括多個堆疊單元由下而上依序堆疊成階梯狀,其中,各堆疊單元具有階梯斜率,任一設置于下方的堆疊單元的階梯斜率的斜率大于任一設置于上方的堆疊單元的所述階梯斜率。由此,可優化三維存儲器件的結構完整性,進而提升其組件效能。
本發明授權三維存儲器件及其制作方法在權利要求書中公布了:1.一種三維存儲器件,其特征在于,包括:襯底;以及存儲堆疊結構,設置在所述襯底上,所述存儲堆疊結構包括多個堆疊單元依序堆疊成階梯狀,其中,各所述堆疊單元具有階梯斜率,任一設置于下方的所述堆疊單元的階梯斜率的斜率絕對值小于任一設置于上方的所述堆疊單元的所述階梯斜率的斜率絕對值,各所述堆疊單元還包括由下而上依序堆疊第一導體層、第一電介質層、第二導體層、以及第二電介質層,所述第一電介質層在垂直襯底的方向上部分重疊于所述第一導體層的側壁,并且,所述第一電介質層的側壁垂直所述襯底表面;所述第二導體層在所述襯底上的正投影全部落入所述第一導體層在所述襯底上的正投影的范圍內;并且,設置于下方的任一所述堆疊單元的部分頂面可自設置于其上方的所述堆疊單元暴露出。
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