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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司申請的專利等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114883170B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210550690.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統(tǒng)是由唐亞海;樂衛(wèi)平;林偉群;林桂浩設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-05-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本申請涉及一種等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統(tǒng)。所述方法包括：對等離子體腔室進(jìn)行電弧檢測；電弧檢測包括反射率檢測、斜率檢測和壓力檢測；根據(jù)反射率檢測、斜率檢測和壓力檢測中的任一種確定等離子體腔室內(nèi)是否有電弧產(chǎn)生；若有電弧產(chǎn)生，則根據(jù)電弧產(chǎn)生的嚴(yán)重程度，對串聯(lián)在等離子體腔室的主回路的接入電感進(jìn)行變電感調(diào)節(jié)，抑制等離子體腔室內(nèi)的電弧；變電感調(diào)節(jié)的方式為按照電弧產(chǎn)生的嚴(yán)重程度從輕到重的順序，對應(yīng)將接入電感的電感值從小到大調(diào)節(jié)。通過采用多種檢測手段相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)對等離子體腔室內(nèi)是否有電弧產(chǎn)生的高可靠性檢測，并且采用變電感的方式進(jìn)行電弧抑制，達(dá)到了大幅提高腔內(nèi)電弧抑制可靠性的目的。

本發(fā)明授權(quán)等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種等離子體腔室電弧抑制方法，其特征在于，包括以下步驟：對等離子體腔室進(jìn)行電弧檢測；所述電弧檢測包括反射率檢測、斜率檢測和壓力檢測；其中，利用反射率檢測單元進(jìn)行反射率檢測；利用斜率檢測單元進(jìn)行斜率檢測；利用壓力檢測單元進(jìn)行壓力檢測；根據(jù)所述反射率檢測、所述斜率檢測和所述壓力檢測中的任一種確定所述等離子體腔室內(nèi)是否有電弧產(chǎn)生；若有電弧產(chǎn)生，則根據(jù)電弧產(chǎn)生的嚴(yán)重程度，對串聯(lián)在等離子體腔室的主回路的接入電感進(jìn)行變電感調(diào)節(jié)，抑制所述等離子體腔室內(nèi)的電弧；所述變電感調(diào)節(jié)的方式為按照電弧產(chǎn)生的嚴(yán)重程度從輕到重的順序，對應(yīng)將所述接入電感的電感值從小到大調(diào)節(jié)。

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