深圳市恒運昌真空技術股份有限公司唐亞海獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市恒運昌真空技術股份有限公司申請的專利等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114883170B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210550690.2，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統是由唐亞海;樂衛平;林偉群;林桂浩設計研發完成，并于2022-05-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統在說明書摘要公布了：本申請涉及一種等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統。所述方法包括：對等離子體腔室進行電弧檢測；電弧檢測包括反射率檢測、斜率檢測和壓力檢測；根據反射率檢測、斜率檢測和壓力檢測中的任一種確定等離子體腔室內是否有電弧產生；若有電弧產生，則根據電弧產生的嚴重程度，對串聯在等離子體腔室的主回路的接入電感進行變電感調節，抑制等離子體腔室內的電弧；變電感調節的方式為按照電弧產生的嚴重程度從輕到重的順序，對應將接入電感的電感值從小到大調節。通過采用多種檢測手段相結合的方式實現對等離子體腔室內是否有電弧產生的高可靠性檢測，并且采用變電感的方式進行電弧抑制，達到了大幅提高腔內電弧抑制可靠性的目的。
本發明授權等離子體腔室電弧抑制方法、裝置和射頻電源系統在權利要求書中公布了：1.一種等離子體腔室電弧抑制方法，其特征在于，包括以下步驟：對等離子體腔室進行電弧檢測；所述電弧檢測包括反射率檢測、斜率檢測和壓力檢測；其中，利用反射率檢測單元進行反射率檢測；利用斜率檢測單元進行斜率檢測；利用壓力檢測單元進行壓力檢測；根據所述反射率檢測、所述斜率檢測和所述壓力檢測中的任一種確定所述等離子體腔室內是否有電弧產生；若有電弧產生，則根據電弧產生的嚴重程度，對串聯在等離子體腔室的主回路的接入電感進行變電感調節，抑制所述等離子體腔室內的電弧；所述變電感調節的方式為按照電弧產生的嚴重程度從輕到重的順序，對應將所述接入電感的電感值從小到大調節。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市恒運昌真空技術股份有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市寶安區西鄉街道鐵崗社區桃花源智創小鎮功能配套區B棟101,201,301；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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