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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利設定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115497851B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210650471.1，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權設定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置是由美濃谷惠太;武田大輝設計研發完成，并于2022-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本設定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置在說明書摘要公布了：本公開涉及一種設定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置，能夠在設定用于處理基板的裝置的工藝制程時簡便地執行工藝制程的編輯。包括以下工序：一邊對顯示器的屏幕進行工藝制程的制程設定表的顯示，一邊受理制程設定表的設定值的編輯；將被受理設定值的編輯后的所述工藝制程存儲到所述存儲部，以與顯示切換命令相應地在全顯示狀態與縮略顯示狀態之間切換的方式顯示于所述屏幕，在所述全顯示狀態下，顯示與制程設定表的全部設定項目對應的設定值，在所述縮略顯示狀態下，僅顯示與過去曾被受理過設定值的編輯的設定項目對應的設定值。

本發明授權設定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置在權利要求書中公布了：1.一種設定裝置的工藝制程的方法，該裝置用于處理基板，該方法包括以下工序：由所述裝置的控制計算機針對所述工藝制程的多個設定項目，從存儲部讀出與以隨著時間進展的方式定義的多個步驟的各個步驟對應地設定的多個設定值，并將該多個設定值以構成為能夠確定出與所述設定項目及所述步驟對應的所述設定值的制程設定表的形式顯示于與所述控制計算機連接的顯示器的屏幕的顯示部，其中，所述制程設定表是與所述工藝制程的多個設定項目及以隨著時間進展的方式定義的所述多個步驟對應地顯示各設定值的表；一邊進行通過顯示于所述顯示部的工序進行的所述制程設定表的顯示，一邊借助與所述控制計算機連接的輸入部受理確定所述步驟及所述設定項目而選擇出的所述設定值的編輯；以及將被受理所述設定值的編輯后的所述工藝制程存儲到所述存儲部，其中，在由所述控制計算機實施受理所述設定值的編輯的工序的期間中，將所述制程設定表以與借助所述輸入部輸入的顯示切換命令相應地在全顯示狀態與縮略顯示狀態之間切換的方式顯示于所述顯示部，在所述全顯示狀態下，顯示與所述制程設定表的全部所述設定項目對應的所述設定值，在所述縮略顯示狀態下，僅顯示與過去曾被受理過所述設定值的編輯的所述設定項目對應的設定值。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。