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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利設(shè)定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115497851B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210650471.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)設(shè)定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置是由美濃谷惠太;武田大輝設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-06-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本設(shè)定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置在說明書摘要公布了：本公開涉及一種設(shè)定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置，能夠在設(shè)定用于處理基板的裝置的工藝制程時(shí)簡(jiǎn)便地執(zhí)行工藝制程的編輯。包括以下工序：一邊對(duì)顯示器的屏幕進(jìn)行工藝制程的制程設(shè)定表的顯示，一邊受理制程設(shè)定表的設(shè)定值的編輯；將被受理設(shè)定值的編輯后的所述工藝制程存儲(chǔ)到所述存儲(chǔ)部，以與顯示切換命令相應(yīng)地在全顯示狀態(tài)與縮略顯示狀態(tài)之間切換的方式顯示于所述屏幕，在所述全顯示狀態(tài)下，顯示與制程設(shè)定表的全部設(shè)定項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的設(shè)定值，在所述縮略顯示狀態(tài)下，僅顯示與過去曾被受理過設(shè)定值的編輯的設(shè)定項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的設(shè)定值。

本發(fā)明授權(quán)設(shè)定裝置的工藝制程的方法和用于處理基板的裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種設(shè)定裝置的工藝制程的方法，該裝置用于處理基板，該方法包括以下工序：由所述裝置的控制計(jì)算機(jī)針對(duì)所述工藝制程的多個(gè)設(shè)定項(xiàng)目，從存儲(chǔ)部讀出與以隨著時(shí)間進(jìn)展的方式定義的多個(gè)步驟的各個(gè)步驟對(duì)應(yīng)地設(shè)定的多個(gè)設(shè)定值，并將該多個(gè)設(shè)定值以構(gòu)成為能夠確定出與所述設(shè)定項(xiàng)目及所述步驟對(duì)應(yīng)的所述設(shè)定值的制程設(shè)定表的形式顯示于與所述控制計(jì)算機(jī)連接的顯示器的屏幕的顯示部，其中，所述制程設(shè)定表是與所述工藝制程的多個(gè)設(shè)定項(xiàng)目及以隨著時(shí)間進(jìn)展的方式定義的所述多個(gè)步驟對(duì)應(yīng)地顯示各設(shè)定值的表；一邊進(jìn)行通過顯示于所述顯示部的工序進(jìn)行的所述制程設(shè)定表的顯示，一邊借助與所述控制計(jì)算機(jī)連接的輸入部受理確定所述步驟及所述設(shè)定項(xiàng)目而選擇出的所述設(shè)定值的編輯；以及將被受理所述設(shè)定值的編輯后的所述工藝制程存儲(chǔ)到所述存儲(chǔ)部，其中，在由所述控制計(jì)算機(jī)實(shí)施受理所述設(shè)定值的編輯的工序的期間中，將所述制程設(shè)定表以與借助所述輸入部輸入的顯示切換命令相應(yīng)地在全顯示狀態(tài)與縮略顯示狀態(tài)之間切換的方式顯示于所述顯示部，在所述全顯示狀態(tài)下，顯示與所述制程設(shè)定表的全部所述設(shè)定項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的所述設(shè)定值，在所述縮略顯示狀態(tài)下，僅顯示與過去曾被受理過所述設(shè)定值的編輯的所述設(shè)定項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的設(shè)定值。

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