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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司申請的專利柵極串聯(lián)電阻小焊墊器件的測量裝置及測量方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115267476B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210899521.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R31/26；該發(fā)明授權(quán)柵極串聯(lián)電阻小焊墊器件的測量裝置及測量方法是由李晶晶;陳培申;謝晉春設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-07-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本柵極串聯(lián)電阻小焊墊器件的測量裝置及測量方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種柵極串聯(lián)電阻小焊墊器件的測量裝置，包括半導(dǎo)體器件，半導(dǎo)體器件包括源極、漏極、柵極和連接于源極和柵極間的柵極串聯(lián)電阻，以及分別用于引出源極、漏極、柵極、柵極串聯(lián)電阻的第一至四焊墊；測試機臺，測試機臺的探針卡包括用于漏端通道的第一、二漏端探針、用于源端通道的第一、二源端探針和用于柵端通道的柵端探針；控制器，控制器用于控制第一至四開關(guān)的關(guān)斷或閉合狀態(tài)，用以切換測量模式。本發(fā)明利用測試機臺有表面漏極測試與共漏測試兩種測試模式，相當(dāng)于漏斷有兩條測試通路，借用表面漏極測試模式，針卡借用表面漏極測試通道，程序內(nèi)使用開關(guān)完成源端與柵端的短接，從而達(dá)到一步測試完成柵極串聯(lián)電阻及主芯片測試。

本發(fā)明授權(quán)柵極串聯(lián)電阻小焊墊器件的測量裝置及測量方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種柵極串聯(lián)電阻小焊墊器件的測量裝置，其特征在于，包括：半導(dǎo)體器件，所述半導(dǎo)體器件包括源極、漏極、柵極和連接于所述源極和所述柵極間的柵極串聯(lián)電阻，以及分別用于引出所述源極、所述漏極、所述柵極、所述柵極串聯(lián)電阻的第一至四焊墊；測試機臺，所述測試機臺的探針卡包括用于漏端通道的第一、二漏端探針、用于源端通道的第一、二源端探針和用于柵端通道的柵端探針；控制器，所述控制器用于控制第一至四開關(guān)的關(guān)斷或閉合狀態(tài)，用以切換測量模式；其中，第四焊墊與第一漏端探針電性連接，且所述第一漏端探針與所述漏端通道間設(shè)有第一開關(guān)；第三焊墊與第一源端探針電性連接，且所述第一源端探針與所述源端通道間設(shè)有第二開關(guān)；第一焊墊與第二源端探針電性連接；所述第三焊墊與所述柵端探針電性連接，且所述柵端探針與所述柵端通道間設(shè)有第三開關(guān)；第二焊墊與第二漏端探針電性連接，且所述第二漏端探針與所述漏端通道間設(shè)有第四開關(guān)；所述測量模式包括第一、二測量模式，第一測量模式用于柵極串聯(lián)電阻測試，第二測量模式用于主芯片測試；所述第一測量模式包括：閉合第一、二開關(guān)，斷開第三、四開關(guān)，在所述第四焊墊、所述第三焊墊與所述測試機臺間形成測試回路；所述第二測量模式包括：斷開所述第一、二開關(guān)，閉合所述第三、四開關(guān)，在所述第二焊墊、第三焊墊與所述測試機臺間形成測試回路。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)祖沖之路1399號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。