恭喜江蘇富樂德石英科技有限公司陳海源獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江蘇富樂德石英科技有限公司申請的專利一種半導體材料脫蠟裝置及其工藝獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115532695B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211116030.X,技術領域涉及:B08B3/02;該發明授權一種半導體材料脫蠟裝置及其工藝是由陳海源;楊軍;張月清設計研發完成,并于2022-09-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體材料脫蠟裝置及其工藝在說明書摘要公布了:本發明公開了一種半導體材料脫蠟裝置及其工藝,其裝置包括水槽,所述水槽的兩側分別設有分別上料臺和下料臺,所述上料臺上設有基板載具,所述基板載具上套設有工件,所述工件的上端上設有加工基板且加工基板與所述基板載具套設配合,所述水槽的后端設有機械手底座,所述機械手底座上設有機械手,所述機械手的輸出端設有機械爪,所述機械爪的一側設有熱水噴淋頭。本發明與現有技術相比的優點在于:提高脫蠟合格率、解決了劃傷,崩邊的問題。
本發明授權一種半導體材料脫蠟裝置及其工藝在權利要求書中公布了:1.一種半導體材料脫蠟裝置,包括水槽(1),其特征在于,所述水槽(1)的兩側分別設有分別上料臺(2)和下料臺(3),所述上料臺(2)上設有基板載具(4),所述基板載具(4)上套設有工件(5),所述工件(5)的上端上設有加工基板(6)且加工基板(6)與所述基板載具(4)套設配合,所述水槽(1)的后端設有機械手底座(7),所述機械手底座(7)上設有機械手(8),所述機械手(8)上設有機械爪(9),所述機械爪(9)上設有熱水噴淋頭(10);所述基板載具(4)上安裝有若干膠輥(18),若干所述膠輥(18)呈圓周分布,且若干所述膠輥(18)的上端面均為支撐斜面,所述基板載具(4)包括底板(19),所述底板(19)上設有支撐膠輥(18),所述支撐膠輥(18)上設有導桿(20),所述加工基板(6)的中部設有導套(21)且所述導套(21)套設在導桿(20)上。
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