恭喜東京毅力科創株式會社岡信介獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利傳熱氣體的泄漏量減少方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117917188B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202380013510.X，技術領域涉及：H05H1/46；該發明授權傳熱氣體的泄漏量減少方法是由岡信介;高橋陽;田村大輔;下村翔設計研發完成，并于2023-02-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本傳熱氣體的泄漏量減少方法在說明書摘要公布了：本公開提供了一種用于對邊緣環和靜電吸盤之間供應的傳熱氣體的泄漏量減少方法及等離子體處理裝置。傳熱氣體的泄漏量減少方法，包括：在具有靜電吸盤的主體部上載置邊緣環的工序；使所述靜電吸盤吸附所述邊緣環的工序；對所述邊緣環進行升溫的工序；對所述邊緣環進行降溫的工序；以及，反復進行多次所述進行升溫的工序和所述進行降溫的工序的工序。
本發明授權傳熱氣體的泄漏量減少方法在權利要求書中公布了：1.一種傳熱氣體的泄漏量減少方法，包括：在具有靜電吸盤的主體部上載置邊緣環的工序；使所述靜電吸盤吸附所述邊緣環的工序；對所述邊緣環進行升溫的工序；對所述邊緣環進行降溫的工序；以及，反復進行多次所述進行升溫的工序和所述進行降溫的工序的工序，所述靜電吸盤的熱膨脹系數與所述邊緣環的熱膨脹系數不同，從而通過執行所述反復的工序使得所述邊緣環與所述靜電吸盤之間的間隙變小。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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