恭喜西安奕斯偉材料科技股份有限公司李安杰獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜西安奕斯偉材料科技股份有限公司申請的專利一種外延片表面臺階檢測方法及裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117316793B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311236246.4,技術領域涉及:H01L21/66;該發明授權一種外延片表面臺階檢測方法及裝置是由李安杰;柯希恒設計研發完成,并于2023-09-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種外延片表面臺階檢測方法及裝置在說明書摘要公布了:本公開提供一種外延片表面臺階檢測方法及裝置,方法包括:利用激光在外延片表面掃描,得到外延片表面拋光霧度信號;基于拋光霧度信號,獲取與外延片表面呈周期性結構的臺階所對應的布拉格衍射坐標圖;利用原子力顯微鏡對外延片表面局部區域進行測量,以獲取局部區域內所有臺階的臺階高度變化曲線;基于臺階高度變化曲線,確定臺階平均寬度w0;基于臺階平均寬度w0、激光波長λ、激光入射角度θ及布拉格衍射條件,計算臺階平均高度d0;基于臺階高度變化曲線,選取若干臺階高度樣本,基于每個臺階高度樣本的權重、及臺階平均高度d0,計算臺階的真實高度。本公開提供的外延片表面臺階檢測方法及裝置,可檢測外延片表面臺階高度。
本發明授權一種外延片表面臺階檢測方法及裝置在權利要求書中公布了:1.一種外延片表面臺階檢測方法,其特征在于,包括如下步驟:利用激光在外延片表面掃描,得到外延片表面拋光霧度信號;基于所述拋光霧度信號,獲取與外延片表面呈周期性結構的臺階所對應的布拉格衍射坐標圖,其中,臺階寬度w、臺階高度d、激光波長λ及激光入射角度θ滿足所述布拉格衍射圖所表征的布拉格衍射條件;利用原子力顯微鏡對所述外延片表面局部區域進行測量,以獲取對應外延片表面局部區域內所有臺階的臺階高度變化曲線;基于所述臺階高度變化曲線,確定臺階平均寬度w0;基于臺階平均寬度w0、激光波長λ、激光入射角度θ及所述布拉格衍射條件,計算得到臺階平均高度d0;基于所述臺階高度變化曲線,選取若干臺階高度樣本,并基于每個臺階高度樣本的權重、及所述臺階平均高度d0,計算臺階的真實高度;其中,所述基于所述臺階高度變化曲線,選取若干臺階高度樣本,并基于每個臺階高度樣本的權重、及所述臺階平均高度d0,計算臺階的真實高度,具體包括:選取所述臺階高度變化曲線中的一臺階高度記為基準高度;統計所有臺階相對上述基準高度的臺階高度值,并計算相鄰兩個臺階之間的高度差值dn,將相同數值大小的若干高度差值dn記為同一組,統計各個組內包含的所述高度差值dn的數量;選取占比大于預設占比的幾組所述高度差值dn作為所述臺階高度樣本,并確定每一組所述高度差值dn包含的高度差值dn的數量在作為所述臺階高度樣本的所有組高度差值dn中對應的權重Vn,得到如下加權公式I:d1*V1+d2*V2+……+dn*Vn=d0;根據所有臺階相對上述基準高度的臺階高度值,確定所述臺階高度樣本內各組高度差值dn之間的測量高度比值,得到如下公式II:d1:d2:……dn=K1:K2:……Kn;其中,K1:K2:……Kn表示所述臺階高度樣本內各組高度差值dn之間的測量高度比值;根據上述公式I和II計算出每種高度差值對應的臺階的真實高度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人西安奕斯偉材料科技股份有限公司,其通訊地址為:710000 陜西省西安市高新區西灃南路1888號1-3-029室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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