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杭州士蘭微電子股份有限公司汪建平獲國家專利權

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龍圖騰網獲悉杭州士蘭微電子股份有限公司申請的專利扭矩傳感器及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112079327B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010920299.8,技術領域涉及:B81B7/04;該發明授權扭矩傳感器及其制造方法是由汪建平;鄧登峰設計研發完成,并于2020-09-04向國家知識產權局提交的專利申請。

扭矩傳感器及其制造方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種扭矩傳感器及其制造方法,包括襯底;外延層,位于所述襯底上;多個第一摻雜區和多個第二摻雜區,分別位于所述外延層中;多個第一歐姆接觸區,位于所述第一摻雜區的兩端;多個第二歐姆接觸區,位于所述第二摻雜區的兩端;以及第一隔離結構,位于所述外延層和所述襯底中,包圍所述第一摻雜區和第二摻雜區。本發明的扭矩傳感器通過額外設置彎矩感測單元,同時獲得扭矩感測信號和彎矩信號,采用彎矩信號對扭矩感測信號進行補償,消除彎矩對扭矩感測信號的影響,可以提高測量的扭矩值的準確度。

本發明授權扭矩傳感器及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種扭矩傳感器,包括: 襯底; 外延層,位于所述襯底上; 多個第一摻雜區和多個第二摻雜區,分別位于所述外延層中; 多個第一歐姆接觸區,位于所述第一摻雜區的兩端; 多個第二歐姆接觸區,位于所述第二摻雜區的兩端;以及 第一隔離結構,位于所述外延層和所述襯底中,包圍所述第一摻雜區和第二摻雜區, 其中,多個所述第一摻雜區和所述第一歐姆接觸區形成多個第一歐姆接觸電阻,所述多個第一歐姆接觸電阻構成扭矩感測單元,輸出扭矩感測信號;多個所述第二摻雜區和所述第二歐姆接觸區形成多個第二歐姆接觸電阻,所述多個第二歐姆接觸電阻構成彎矩感測單元,輸出彎矩感測信號。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人杭州士蘭微電子股份有限公司,其通訊地址為:310012 浙江省杭州市黃姑山路4號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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