恭喜青島華芯晶電科技有限公司;同濟大學(xué)肖迪獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜青島華芯晶電科技有限公司;同濟大學(xué)申請的專利用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統(tǒng)及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119869992B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510368442.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B08B1/12;該發(fā)明授權(quán)用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統(tǒng)及方法是由肖迪;鄭東;徐軍;王雪;戴磊;張強;唐慧麗設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-03-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統(tǒng)及方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統(tǒng)及方法,屬于藍寶石雙拋片的清洗控制領(lǐng)域,本發(fā)明獲取清洗數(shù)據(jù),獲取藍寶石雙拋片圖像和清洗前后數(shù)據(jù),并對圖像進行處理,構(gòu)建清洗效果評估模型,將劃痕相關(guān)參數(shù)和清洗前后表面顆粒數(shù)導(dǎo)入清洗效果評估模型中進行評估,構(gòu)建毛刷磨損程度評估模型,將毛刷清洗藍寶石雙拋片的過程參數(shù)導(dǎo)入毛刷磨損程度評估模型中評估毛刷磨損程度,構(gòu)建毛刷剩余壽命評估模型,將毛刷磨損量、毛刷清潔效果和毛刷厚度導(dǎo)入毛刷剩余壽命評估模型對毛刷剩余壽命進行評估,本發(fā)明通過實時監(jiān)測清洗效果評估毛刷磨損狀況,并基于磨損模型預(yù)測毛刷壽命,減少毛刷對雙拋片清洗過程產(chǎn)生的負(fù)面影響。
本發(fā)明授權(quán)用于藍寶石雙拋片的清洗控制系統(tǒng)及方法在權(quán)利要求書中公布了:1.用于藍寶石雙拋片的清洗控制方法,其特征在于,其包括以下具體步驟:獲取清洗數(shù)據(jù),獲取藍寶石雙拋片圖像和清洗前后數(shù)據(jù),并對圖像進行處理;構(gòu)建清洗效果評估模型,將劃痕相關(guān)參數(shù)和清洗前后表面顆粒數(shù)導(dǎo)入清洗效果評估模型中進行評估;構(gòu)建毛刷磨損程度評估模型,將毛刷清洗藍寶石雙拋片的過程參數(shù)導(dǎo)入毛刷磨損程度評估模型中評估毛刷磨損程度,包括以下具體步驟:將劃痕綜合評估指數(shù)與劃痕評估閾值進行比較,若劃痕綜合評估指數(shù)大于劃痕評估閾值,則立即更換毛刷,同時將顆粒去除率與最小顆粒去除率閾值進行比較,若顆粒去除率小于最小顆粒去除率閾值,則立即更換毛刷,若劃痕綜合評估指數(shù)和顆粒去除率均在閾值范圍之內(nèi),將毛刷清洗藍寶石雙拋片的過程參數(shù)代入毛刷磨損量計算公式中計算毛刷磨損量,單位時間的毛刷磨損量計算公式是基于Archard磨損方程得到的,通過毛刷材料特性、壓力、滑移距離以及清洗液對毛刷的腐蝕性量化毛刷的磨損量;構(gòu)建毛刷剩余壽命評估模型,將毛刷磨損量、毛刷清潔效果和毛刷厚度導(dǎo)入毛刷剩余壽命評估模型對毛刷剩余壽命進行評估,包括以下具體步驟:將毛刷磨損量和毛刷厚度代入毛刷剩余壽命計算公式中計算毛刷剩余壽命,其中,毛刷剩余壽命計算公式為:,其中,為清洗評估因子,H0為毛刷實時厚度,Hmin為毛刷允許的最小厚度,W為單位時間的毛刷磨損量,其中,清洗評估因子的計算公式為:,其中,A為劃痕綜合評估指數(shù),Ar為劃痕評估閾值,P為顆粒去除率,Pr為顆粒去除率閾值,將毛刷剩余壽命與毛刷壽命閾值進行比較,若小于等于閾值,則立即更換毛刷,若接近閾值,則發(fā)出提醒預(yù)警。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人青島華芯晶電科技有限公司;同濟大學(xué),其通訊地址為:266000 山東省青島市高新區(qū)河?xùn)|路383號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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