恭喜昕芙旎雅有限公司谷山育志獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜昕芙旎雅有限公司申請的專利晶片儲存器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113169103B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201980078149.2,技術領域涉及:H01L21/673;該發明授權晶片儲存器是由谷山育志;河合俊宏設計研發完成,并于2019-11-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶片儲存器在說明書摘要公布了:提供了一種可以進一步改善晶片周圍的氣氛的晶片儲存器。晶片儲存器X包括:殼體1,設置在殼體1的前表面上的裝載裝置2,設置在殼體1中的晶片盒架子3,用于將晶片從安裝在裝載裝置2上的搬運容器中搬入晶片盒架子3上的晶片盒C中和從該晶片盒C中搬出的晶片搬運機器人4,用于使晶片盒架子3上的晶片盒C移動到不同高度的晶片盒搬運裝置5,以及用于在晶片搬運空間和晶片盒搬運空間中產生層流的風扇過濾器單元8。
本發明授權晶片儲存器在權利要求書中公布了:1.一種晶片儲存器,其包括:殼體;裝載裝置,其安裝在所述殼體的前表面上,并被構造為安裝能夠容納多個晶片的搬運容器;晶片盒架子,其布置在所述殼體中,并被構造為以多層的方式儲存多個晶片盒,所述多個晶片盒被構造為以多層的方式儲存多個晶片;晶片搬運機器人,其被構造為在安裝在所述裝載裝置上的所述搬運容器與儲存在所述晶片盒架子中的所述晶片盒之間裝載和卸載所述晶片;晶片盒運送裝置,其被構造為將儲存在所述晶片盒架子的多層中的預定層中的晶片盒移動到至少與所述預定層高度不同的層;風扇過濾器單元,其被構造為在所述殼體的布置有所述晶片搬運機器人的晶片搬運空間中以及所述殼體的布置有所述晶片盒運送裝置的晶片盒搬運空間中產生層流;返回空間,其安裝在所述殼體的后壁和所述晶片盒運送裝置之間的殼體內;以及鼓風機,其安裝在所述返回空間中并且被配置為產生上升氣流,所述上升氣流在所述返回空間中朝向所述風扇過濾器單元流動,其中,所述風扇過濾器單元安裝在所述殼體中,其中,在所述殼體中形成有用于使氣體循環的循環路徑,所述循環路徑包括所述晶片搬運空間、所述晶片盒搬運空間以及所述返回空間,并且其中,當安裝在所述裝載裝置上的搬運容器與所述裝載裝置的直立基座緊密接觸時,所述搬運容器的門打開,所述晶片搬運機器人僅從所述搬運容器中卸載晶片并將晶片裝載到晶片盒中。
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