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龍圖騰網(wǎng)恭喜卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專利光學(xué)裝置和光刻設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113632010B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080023594.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)光學(xué)裝置和光刻設(shè)備是由J.霍恩;S.里赫特設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-03-25向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本光學(xué)裝置和光刻設(shè)備在說明書摘要公布了：一種用于光刻設(shè)備100A、100B的光學(xué)裝置200，具有：具有反射鏡陣列204的微系統(tǒng)202，其中反射鏡陣列204的相應(yīng)反射鏡206被設(shè)置成在其前側(cè)208反射光刻設(shè)備100A、100B的工作光108A、108B并且還在其后側(cè)220反射測(cè)量光束L、224；一個(gè)或多個(gè)輻射源222，設(shè)置在微系統(tǒng)202的外部并設(shè)置成提供相應(yīng)的測(cè)量光束L、224；以及一個(gè)或多個(gè)傳感器單元230、804、1200，設(shè)置成根據(jù)各自反射的測(cè)量光束L’、224’來感測(cè)相應(yīng)反射鏡206的傾斜角α。

本發(fā)明授權(quán)光學(xué)裝置和光刻設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于光刻設(shè)備100A、100B的光學(xué)裝置200，具有：微系統(tǒng)202，具有反射鏡陣列204，其中所述反射鏡陣列204的相應(yīng)反射鏡206被設(shè)置成在其前側(cè)208反射所述光刻設(shè)備100A、100B的工作光108A、108B并且還在其后側(cè)220反射測(cè)量光束L、224，一個(gè)或多個(gè)輻射源222、310，布置在所述微系統(tǒng)202的外部且在所述光學(xué)裝置200的真空區(qū)域的外部，并被設(shè)置成提供相應(yīng)的所述測(cè)量光束L、224，以及一個(gè)或多個(gè)傳感器單元230、804、1200，被設(shè)置成根據(jù)相應(yīng)反射的測(cè)量光束L’、224’感測(cè)相應(yīng)反射鏡206的傾斜角α，其中，所述微系統(tǒng)202具有基板210、300、1000和集成電路234。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司，其通訊地址為：德國上科亨；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。