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龍圖騰網(wǎng)恭喜卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司申請的專利用于干涉測量確定表面形狀的測量設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114467005B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080068894.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B9/02；該發(fā)明授權(quán)用于干涉測量確定表面形狀的測量設(shè)備是由S.舒爾特;R.弗雷曼設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-09-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于干涉測量確定表面形狀的測量設(shè)備在說明書摘要公布了：一種用于干涉確定測試物14的表面12的形狀的測量設(shè)備10包括：用于提供輸入波42的輻射源；多重編碼衍射光學(xué)元件60，其被配置為通過衍射從輸入波生成測試波66和至少一個校準(zhǔn)波70，該測試波指向測試物14且具有形式為自由形式表面的波前，其中，校準(zhǔn)波的波前具有非旋轉(zhuǎn)對稱形狀68f，其中，穿過校準(zhǔn)波70的波前的橫截面沿著相互橫向?qū)?zhǔn)的橫截面區(qū)域在各個情況下具有彎曲形狀，并且其中，各種橫截面區(qū)域中的彎曲形狀在開口參數(shù)方面不同。此外，測量設(shè)備包括檢測裝置46，用于檢測通過將參考波40和在與校準(zhǔn)物74相互作用后的校準(zhǔn)波疊加而形成的校準(zhǔn)干涉圖。

本發(fā)明授權(quán)用于干涉測量確定表面形狀的測量設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于干涉測量確定測試物14的表面12的形狀的測量設(shè)備10，包括：-用于提供輸入波42的輻射源，-多重編碼衍射光學(xué)元件60，其被配置為通過衍射從所述輸入波產(chǎn)生測試波66和至少一個校準(zhǔn)波70，所述測試波66指向所述測試物14且具有自由形式表面的形式的波前，其中，所述校準(zhǔn)波的波前具有非旋轉(zhuǎn)對稱形狀68f，其中，沿著相互橫向?qū)?zhǔn)的橫截面表面穿過所述校準(zhǔn)波70的波前的橫截面在各個情況下具有彎曲形狀，并且其中，不同橫截面表面中的彎曲形狀在開口參數(shù)方面不同，以及捕獲裝置46，用于捕獲通過將參考波40和在與校準(zhǔn)物74相互作用后的所述校準(zhǔn)波疊加而形成的校準(zhǔn)干涉圖。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司，其通訊地址為：德國上科亨；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。