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龍圖騰網(wǎng)恭喜江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種堆疊晶圓的封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112382629B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202011632856.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10D80/00；該發(fā)明授權(quán)一種堆疊晶圓的封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法是由陳海杰;王金峰;陳棟;陳錦輝;謝皆雷設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-31向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種堆疊晶圓的封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及一種堆疊晶圓結(jié)構(gòu)及其封裝方法，屬于半導(dǎo)體芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域。其包括晶圓堆疊體C2、承載晶圓A1、電氣連接層（150），所述晶圓堆疊體C2設(shè)置于承載晶圓A1上方并通過(guò)電氣連接層（150）連接，所述晶圓堆疊體C1包括若干層功能晶圓，從下而上，所述晶圓尺寸逐漸減小，其四周形成階梯狀的側(cè)壁，于承載晶圓A1上方，所述晶圓堆疊體C2的正面及其階梯狀的側(cè)壁涂覆介電層Ⅲ（300）并形成介電層Ⅲ開(kāi)口（301），所述介電層Ⅲ開(kāi)口（301）上內(nèi)設(shè)置金屬種子層（310）和金屬凸塊（360），所述金屬凸塊（360）與相鄰的晶圓的金屬互聯(lián)層（120）通過(guò)金屬種子層（310）連接。本發(fā)明提供了多層堆疊晶圓結(jié)構(gòu)及其制作方法。

本發(fā)明授權(quán)一種堆疊晶圓的封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種堆疊晶圓的封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，其包括晶圓堆疊體C1、晶圓A1、電氣連接層（150），所述晶圓堆疊體C1設(shè)置于晶圓A1上方并通過(guò)電氣連接層（150）連接，所述晶圓堆疊體C1包括依次堆疊的晶圓B1、晶圓B2、晶圓B3和晶圓B4，所述晶圓堆疊體C1中的晶圓B1與晶圓A1面對(duì)面鍵合形成晶圓堆疊體C2；每一晶圓包括硅基（100）、硅穿孔（101）、介電層Ⅰ（110）和金屬互聯(lián)層（120），所述硅穿孔（101）上下貫穿硅基（100），所述介電層Ⅰ（110）設(shè)置于硅基（100）的上方并通過(guò)介電層Ⅰ開(kāi)口露出金屬互聯(lián)層（120）；從下而上，所述晶圓尺寸逐層減小，其四周形成階梯狀的側(cè)壁，于晶圓A1上方，所述晶圓堆疊體C2的正面涂覆介電層Ⅲ（300）并形成介電層Ⅲ開(kāi)口（301），所述介電層Ⅲ（300）向下涂覆晶圓堆疊體C2的階梯狀的側(cè)壁，所述介電層Ⅲ開(kāi)口（301）上內(nèi)設(shè)置金屬種子層（310）和金屬凸塊（360），所述金屬凸塊（360）與相鄰的晶圓的金屬互聯(lián)層（120）通過(guò)金屬種子層（310）連接；所述晶圓B1、晶圓B2、晶圓B3、晶圓B4修整后邊緣距離晶圓A1邊緣的長(zhǎng)度之和與晶圓B1、晶圓B2、晶圓B3、晶圓B4總厚度的比值不小于2:1。

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