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龍圖騰網恭喜中北大學;南通高等研究院申請的專利一種耐超高溫氣密封裝方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114121693B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111361151.6，技術領域涉及：H01L21/60；該發明授權一種耐超高溫氣密封裝方法是由王俊強;張海坤;李孟委設計研發完成，并于2021-11-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種耐超高溫氣密封裝方法在說明書摘要公布了：本發明涉及微電子封裝熱壓鍵合技術領域，具體是一種耐超高溫氣密封裝方法，包括下列步驟：鍵合采用金屬鉑作為鍵合連接材料，且鍵合材料不混合其他金屬材料；先將襯底底片清洗，然后用氣相沉積法制備介質層；經過光刻、濺射、剝離制備底電極；利用沉積法在鍵合凸點鉑金屬表面制作納米鉑柱陣列；再將基板浸入己烷硫醇溶液中自主裝一層防止鉑金屬表面氧化的阻隔膜，最后采用激光劃片的方式將單個微結構分開；將兩個帶有密封環，鍵合凸點的結構放入倒裝焊機，經焊機自動對準、加熱，加壓開始鍵合，最終使兩個結構結合到一起。本發明通過Pt?Pt直接鍵合形成無氧真空腔，可以在1500℃左右為石墨烯納米薄膜材料提供無氧和高溫防護。

本發明授權一種耐超高溫氣密封裝方法在權利要求書中公布了：1.一種耐超高溫氣密封裝方法，其特征在于：包括下列步驟：S1、鍵合采用金屬鉑作為鍵合連接材料，且鍵合材料不混合其他金屬材料；S2、先將襯底底片清洗，然后用氣相沉積法制備介質層；S3、經過光刻、濺射、剝離制備底電極；S4、利用沉積法在鍵合凸點鉑金屬表面制作納米鉑柱陣列；S5、再將基板浸入己烷硫醇溶液中自主裝一層防止鉑金屬表面氧化的阻隔膜，最后采用激光劃片的方式將單個微結構分開；S6、將兩個帶有密封環，鍵合凸點的結構放入倒裝焊機，經焊機自動對準、加熱，加壓開始鍵合，最終使兩個結構結合到一起；所述襯底采用藍寶石Al2O3、硅或二氧化硅；所述介質層材料包含10-100nm的SiNX、SiO2材料制備的絕緣層；所述鍵合的方法采用直接熱壓鍵合，所述直接熱壓鍵合包括表面活化處理、加熱、加壓，所述直接熱壓鍵合采用倒裝焊機；所述表面活化處理方式為干法，所述干法為用200W-400W功率的Ar2或H2氣體，處理鍵合表面的氧化膜，達到活化的目的。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中北大學;南通高等研究院，其通訊地址為：030006 山西省太原市學院路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。