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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)申請的專利一種利用光電測量原位表征局域應(yīng)變的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119665847B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-03發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510200005.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/16；該發(fā)明授權(quán)一種利用光電測量原位表征局域應(yīng)變的方法是由林深茂;曾華凌設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-02-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種利用光電測量原位表征局域應(yīng)變的方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及二維半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域，用于解決對于局域應(yīng)變的原位精確表征手段卻較為匱乏，無法原位精細化定量測量局域應(yīng)變的問題，具體為一種利用光電測量原位表征局域應(yīng)變的方法；本發(fā)明中采用光電流成像技術(shù)，相較于傳統(tǒng)的壓電力顯微鏡和電學(xué)測量技術(shù)，既能夠豐富可測量的體系，使得測量材料不再局限于傳統(tǒng)的鐵電體系，又能夠表征局域化的應(yīng)變工程效果，使得應(yīng)變工程的測試能夠更加精細，對理解局域應(yīng)變調(diào)控機制，測試應(yīng)變工程效果更為有效，同時，本發(fā)明中的光電流測試一般對器件施加零偏壓，使用的激發(fā)光功率也較低，因此不易對樣品造成損傷，相較于壓電力顯微鏡或電學(xué)測量更為無損。

本發(fā)明授權(quán)一種利用光電測量原位表征局域應(yīng)變的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種利用光電測量原位表征局域應(yīng)變的方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟一：對待檢測樣品進行處理，組合成待測量器件；步驟二：搭建共聚焦光電成像裝置，將待檢測的器件放置在變溫真空腔4的樣品放置位置5中，通過變溫真空腔4對樣品測試環(huán)境進行抽真空或溫度調(diào)節(jié)；步驟三：通過光源2和激光發(fā)射端3發(fā)出光線和激光束，并經(jīng)由分束鏡進行反射和折射后照射在待測量器件上的一個區(qū)域；步驟四：通過激光發(fā)射端3的反射光得到反射光圖像，通過激光束激發(fā)待檢測樣品，通過源表6采集光電信號，將反射光圖像和光電信號進行結(jié)合，得到局域應(yīng)變分布；步驟五：判斷是否需要時間應(yīng)變工程，若需要，則進入步驟六，若不需要，則記錄應(yīng)變分布和程度，并結(jié)束測試；步驟六：通過探針對待測量器件施加應(yīng)變工程，并再次進行光電信號和反射光圖像的采集，得到局域應(yīng)變分布；步驟七：將步驟四中的局域應(yīng)變分布和步驟六中的局域應(yīng)變分布進行對比，得到應(yīng)變工程施加效果；所述步驟二中的共聚焦光電成像裝置包括CMOS相機1，所述CMOS相機1的鏡頭下方設(shè)置有多組分束鏡9，其中上方兩組分束鏡一側(cè)分別設(shè)置有光源2和激光發(fā)射端3，最下方的一組所述分束鏡9一側(cè)設(shè)置有單光子計數(shù)器7，所述樣品放置位置5連接有源表6，通過源表6對待測器件發(fā)出的光電信號進行采集，所述源表6、單光子計數(shù)器7和CMOS相機均連接至控制中心8；所述控制中心8內(nèi)設(shè)置有光電測量系統(tǒng)，所述光電測量系統(tǒng)能夠控制光源2發(fā)出光線，控制激光發(fā)射端3發(fā)出激光束；所述光電測量系統(tǒng)通過CMOS相機1獲取大致光斑位置，通過單光子計數(shù)器7得到反射光信號，通過源表6采集待檢測器件被激發(fā)的光電信號；所述光電測量系統(tǒng)將反射光信號和光電信號進行融合，得到局域應(yīng)變分布，并對局域應(yīng)變分布進行判斷；所述光電測量系統(tǒng)將施加應(yīng)力工程前和施加應(yīng)力工程后的局域應(yīng)變分布進行對比，根據(jù)對比結(jié)果進行判斷，確認應(yīng)變工程效果是否達標。

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