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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江東開(kāi)半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專利氦氣回收裝置及氦氣回收方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119802446B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-03發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510295498.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F17C5/00；該發(fā)明授權(quán)氦氣回收裝置及氦氣回收方法是由談?lì)I(lǐng)華設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-03-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本氦氣回收裝置及氦氣回收方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)公開(kāi)了一種氦氣回收裝置及氦氣回收方法，裝置包括回收箱、回收管及分別檢測(cè)回收管、回收箱內(nèi)部氣壓的第一壓力檢測(cè)器、第二壓力檢測(cè)器；回收管為PFA材質(zhì)，管壁具有0.25nm~0.26nm的分子孔隙；回收管包括回收管部及與氣體源連接的進(jìn)口端、與尾氣處理裝置連接的出口端，回收管部置于回收箱內(nèi)，回收管內(nèi)的氣壓和回收箱內(nèi)部的氣壓差為30psi~100psi時(shí)，回收管擴(kuò)張，氦氣分子通過(guò)分子孔隙內(nèi)流至回收箱內(nèi)。氦氣回收方法使用氦氣回收裝置進(jìn)行。通過(guò)控制壓差使分子孔隙變大，氦氣分子通過(guò)分子孔隙從回收管內(nèi)流動(dòng)至回收箱內(nèi)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氦氣的回收。本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、回收的氦氣純凈度高，無(wú)需純化處理，回收效率得到提高。

本發(fā)明授權(quán)氦氣回收裝置及氦氣回收方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種氦氣回收裝置，其特征在于，包括回收箱、回收管、第一壓力檢測(cè)器、第二壓力檢測(cè)器以及氦氣儲(chǔ)存裝置；所述回收箱為密封氣體回收箱，所述回收管包括回收管部以及設(shè)置在所述回收管部?jī)啥说倪M(jìn)口端、出口端，所述回收管部置于所述回收箱內(nèi)并用于進(jìn)行氦氣回收，所述進(jìn)口端穿出回收箱設(shè)置并用于與含有氦氣的混合氣體源連接，所述出口端穿出回收箱設(shè)置，并用于與尾氣處理裝置連接；所述回收管為PFA材質(zhì)管，回收管的管壁具有分子孔隙，自然狀態(tài)時(shí)分子孔隙的徑向尺寸為0.25nm~0.26nm；所述第一壓力檢測(cè)器用于檢測(cè)回收管內(nèi)的氣壓，所述第二壓力檢測(cè)器用于檢測(cè)回收箱內(nèi)部的氣壓；當(dāng)回收管內(nèi)的氣壓和回收箱內(nèi)部的氣壓差為30psi~100psi時(shí)，所述回收管發(fā)生擴(kuò)張，回收管部?jī)?nèi)的氦氣分子通過(guò)回收管的分子孔隙內(nèi)流至回收箱內(nèi)部；所述氦氣儲(chǔ)存裝置包括第一管路、第一氣體壓縮機(jī)、第一閥和氦氣儲(chǔ)存罐，所述氦氣儲(chǔ)存罐通過(guò)第一管路、第一氣體壓縮機(jī)與所述回收箱連通，所述第一閥設(shè)置在所述第一管路上，所述第一氣體壓縮機(jī)用于將回收箱收集的氦氣壓縮后抽入氦氣儲(chǔ)存罐中，使得回收管內(nèi)的氣壓和回收箱內(nèi)部的氣壓保持氣壓差。

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