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龍圖騰網恭喜蘇州冠韻威電子技術有限公司申請的專利一種晶圓裝載端口的快速示教裝置、示教方法及應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119851558B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510350421.5，技術領域涉及：G09B25/02；該發明授權一種晶圓裝載端口的快速示教裝置、示教方法及應用是由魏禮開;杜杰;張闖設計研發完成，并于2025-03-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓裝載端口的快速示教裝置、示教方法及應用在說明書摘要公布了：本申請公開了一種晶圓裝載端口的快速示教裝置、示教方法及應用。所述示教裝置可應用于半導體干法刻蝕的示教活動中，并包括安裝基座，安裝基座表面開設有移動槽，移動槽內滑動安裝有移動滑板，移動滑板上設置有輔助移動機械手進行限位的限位機構和解除限位機構限位作用的解除機構，使用時移動機械手插入到安裝基座與示教晶圓模擬塊之間的間隙中后，通過移動機械手與解除機構中的觸動滑塊擠壓接觸后，觸動滑塊會帶動限位機構中的插接卡塊進行移動，解除限位機構的限位作用，移動機械手能夠推動移動滑板沿著移動槽的長度方向移動，在移動過程中避免了移動機械手由于手持方式導致的晃動、偏移問題，以此提高了示教裝置使用時的教學效果。

本發明授權一種晶圓裝載端口的快速示教裝置、示教方法及應用在權利要求書中公布了：1.一種晶圓裝載端口的快速示教裝置，包括安裝基座（1）和示教晶圓模擬塊（3），示教晶圓模擬塊（3）裝載在安裝基座（1）的上方，并且示教晶圓模擬塊（3）與安裝基座（1）之間存在間隙，該裝置還包括有移動機械手（2），在練習時作業人員手持移動機械手（2），將移動機械手（2）移動至示教晶圓模擬塊（3）與安裝基座（1）之間的間隙中，其特征在于：所述安裝基座（1）表面開設有移動槽，移動槽內滑動安裝有移動滑板（4），移動滑板（4）上設置有輔助移動機械手（2）進行限位并且解除限位供移動機械手（2）進行移動的輔助機構，輔助機構由限位機構（5）以及解除機構（6）組成，移動槽兩側開設有卡槽，并且移動滑板（4）的兩端安裝有限位機構（5），通過限位機構（5）插入到卡槽中實現了對移動滑板（4）的限位，移動滑板（4）上還連接有與限位機構（5）對應的解除機構（6），解除機構（6）用于解除限位機構（5）的限位作用，移動機械手（2）進入到示教晶圓模擬塊（3）與安裝基座（1）之間的間隙中后接觸解除機構（6），由解除機構（6）解除限位機構（5）對移動滑板（4）的限位作用后通過移動機械手（2）推動移動滑板（4）在移動槽內移動。

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