恭喜麥嶠里(上海)半導體科技有限責任公司施朱斌獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜麥嶠里(上海)半導體科技有限責任公司申請的專利一種在晶圓表面形成均勻的電荷密度的系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119890192B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510379280.X，技術領域涉及：H01L23/544；該發明授權一種在晶圓表面形成均勻的電荷密度的系統是由施朱斌;劉相華設計研發完成，并于2025-03-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種在晶圓表面形成均勻的電荷密度的系統在說明書摘要公布了：本發明提供了一種在晶圓表面形成均勻的電荷密度的系統，包括：放電針；第一高壓模塊，用于為所述放電針施加電壓；分段設置的電場模塊，每段所述電場模塊用于形成設定大小和極性的電場；所述放電針的針尖在高電壓下，使空氣電離產生電荷；所述電場模塊形成的電場，控制電荷的速度和運動路徑，使電荷盡量沿垂直方面撒在待測晶圓上；控制單元，用于控制所述第一高壓模塊和所述電場模塊，并根據需要撒在所述待測晶圓上的電荷的數量和實際已撒在所述待測晶圓上的電荷的數量，調整所述第一高壓模塊的輸出電壓。本系統可向晶圓表面撒均勻的可控制量的電荷，提高電學參數的測量精度。
本發明授權一種在晶圓表面形成均勻的電荷密度的系統在權利要求書中公布了：1.一種在晶圓表面形成均勻的電荷密度的系統，其特征在于，包括：放電針；第一高壓模塊，用于為所述放電針施加電壓；分段設置的電場模塊，每段所述電場模塊用于形成設定大小和極性的電場；所述放電針的針尖在高電壓下，使空氣電離產生電荷；所述電場模塊形成的電場，控制電荷的速度和運動路徑，使電荷盡量沿垂直方面撒在待測晶圓上；控制單元，用于控制所述第一高壓模塊和所述電場模塊，并根據需要撒在所述待測晶圓上的電荷的數量和實際已撒在所述待測晶圓上的電荷的數量，調整所述第一高壓模塊的輸出電壓。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人麥嶠里(上海)半導體科技有限責任公司，其通訊地址為：201210 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區祖沖之路2305號B幢12層(產證樓層為11層)1203工位；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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