恭喜上海治臻新能源股份有限公司龔文博獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜上海治臻新能源股份有限公司申請的專利一種沉積裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222935487U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-03發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202520604621.4，技術領域涉及：C23C14/34；該實用新型一種沉積裝置是由龔文博;王健;畢飛飛;姜天豪;胡鵬;藍樹槐設計研發完成，并于2025-04-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種沉積裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了一種沉積裝置，包括空心陰極、第一電源和基板?？招年帢O包括具有通孔的靶材，該通孔用于流通工藝氣體，第一電源與靶材電連接，用于在通孔內產生電場，沿工藝氣體流動的方向，基板與空心陰極的輸出端間隔分布，且通孔的投影位于基板的投影范圍內。其中，通孔為條形結構，能夠擴大通孔的通流截面積，使得離子體更加集中，以提高通孔內的等離子體密度，從而使得更多的離子轟擊靶材的表面，更多的離子和電子相互碰撞，以提高工藝氣體和靶材的離化率，進而形成更多的納米晶核，在等離子體中，凝聚離子形成不同尺寸的納米顆粒，提高納米顆粒生產效率。且單一較大的通孔能夠降低工藝氣體的流動阻力，使得沉積在基板上的納米顆粒層更加均勻。
本實用新型一種沉積裝置在權利要求書中公布了：1.一種沉積裝置，其特征在于，所述沉積裝置包括：空心陰極，所述空心陰極具有通孔，用于流通工藝氣體；第一電源，所述第一電源與所述空心陰極電連接，用于在所述通孔內產生電場；基板，沿所述工藝氣體流動的方向，所述基板與所述空心陰極的輸出端間隔分布，且所述通孔的投影位于所述基板的投影范圍內；其中，所述空心陰極包括靶材，所述靶材設置有所述通孔，且沿所述工藝氣體流動的方向，所述通孔的截面形狀為條形結構。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海治臻新能源股份有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區自由貿易試驗區臨港新片區層林路1500號1幢廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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